Резервоар за въздух
Oct 12, 2023| Резервоар за въздух
Групата с малки високовакуумни помпи на дифузионна помпа обикновено е конфигурирана с резервоар за газ, който е разположен между дифузионната помпа и предната помпа, за да съхранява газа, изпускан от дифузионната помпа. Причините за настройка на резервоара за газ са:
1) Необходимостта от защита срещу удар на системата
Когато вакуумната система работи, някои процеси изискват стриктна устойчивост на удар, така че бившата механична вакуумна помпа трябва да спре да работи за определен период от време, когато вакуумната камера е в работно състояние. През това време целият газ, отделен от дифузионната помпа, се съхранява в резервоара за газ и резервоарът за газ се използва за замяна на механичната помпа, за да се поддържа нормалната работа на дифузионната помпа.
2) С цел съкращаване на работния цикъл
Някои производствени процеси изискват вакуумната камера да бъде поставена в атмосферата в замяна на компоненти и зареждане без затваряне на нагревателя на дифузионната помпа. Предната помпа на вакуумния модул се използва като помпа за предварително изпомпване. След зареждането вакуумната камера се изпомпва предварително с механична помпа, а през това време резервоарът за газ се използва за поддържане на дифузионната помпа (като предната помпа).
3) За да се предотврати голямо количество мигновен газов разряд във вакуумната камера да повлияе на нормалната работа на дифузионната помпа
При производството на вакуумен процес обемът на отработените газове е особено голям за определен период от време, но времето е кратко. Ако не е икономично да се конфигурира механичната помпа според максималния обем на отработените газове в този момент, резервоарът за предварително стъпало за съхранение може да бъде конфигуриран в системата в този момент, за да съхранява част от газа при максималния обем на отработените газове, за да се избегне налягането в предварителното стъпало на дифузионната помпа надвишава максималното обратно налягане.
4) Използва се за стабилизиране на налягането на изхода на дифузионната помпа
Тъй като изпускателната тръба на механичната вакуумна помпа е импулсна, въпреки че честотата не е висока (обикновено около 7 пъти/s), това също ще причини колебания в изходното налягане на дифузионната помпа и настройката на резервоара за газ може да намали това флуктуации.
IKS PVD компания, машина за декоративно покритие, машина за покритие на инструменти, DLC машина за покритие, машина за оптично покритие, PVD линия за вакуумно покритие, проектът до ключ е наличен. Свържете се с нас сега, имейл: iks.pvd@foxmail.com