Характеризиране на степен на вакуум, единица и разделяне на вакуумната област

Характеризиране на степен на вакуум, единица и разделяне на вакуумната област

IKS PVD, ние сме производство на PVD оборудване за вакуумно покритие, свържете се с нас сега, iks.pvd @ foxmail.come

Не е много разумно да се използва налягане, за да се представи степента на вакуум, която е била използвана в историята на измерване на вакуума чрез u-тип манометър.

В общата вакуумна система обикновено се използва хидростатичната физична величина на изотропното налягане на неутрален газ, за да се изрази степента на вакуума. Следователно измерването на степента на вакуум се свежда само до измерването на налягането. Особено внимание обаче трябва да се обърне на условията на измерване, които са стационарното (случайно движение), стабилното състояние и изотропния единичен неутрален газ в ограничен контейнер. В този случай, разпределението на максималната скорост, косинусът и хидростатичното налягане (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = ρ gh) са относително съвместими с обективната реалност, измерването на степен на вакуум е сравнително лесно и лесно.

Според дефиницията на степента на вакуума, по-добре е степента на вакуума да се изразява чрез молекулна плътност n и не е противоречиво да се изрази степента на вакуума чрез налягане. Когато се измерва налягането, газът обикновено е в равновесно състояние и отговаря на закона на Максуел за разпределение на скоростта, т.е. p = nkT е вярно. Температурата на газа е постоянна по време на измерването, така че налягането на газа р е пропорционално на молекулната плътност n. С други думи, налягането е мярка за молекулна плътност, така че вакуумът може да се изрази като налягане.

В космическите изследвания, изследователският обект е движението на безкрайното пространство (1 ~ 10 KMS - 1 или по-високо) и под действието на сложна нестационарна, интегрирана атмосфера на околната среда, максималният закон за разпределение на скоростта и косинусовия разсейващ закон не е задължително, загуби първоначалния си физически смисъл, така че налягането на измерването на вакуума е по-сложно и трудно.

Като цяло, той е популярен и се използва за изразяване на степента на вакуум чрез натиск, но не е единственият. Следните параметри могат да се използват и за изразяване на степен на вакуум:

Когато степента на вакуум е много висока, т.е. когато молекулната плътност е много малка, статистическата флуктуация е много очевидна. Например, когато налягането р = 10-12pa, статистическата флуктуация е по-голяма от 5 пъти 10-2, а налягането е загубило истинското си значение. По този начин, в някои случаи, налягането е само относителен показател за други количества .

1. Въпроси и отговори

Вакуумни единици?

Налягането на газ, определено от сблъсъка на молекула газ на повърхността, е скоростта на промяна във времето на вертикалната компонента на инерцията на газовата молекула, която се сблъсква с единична повърхност, т.е. силата, получена на единица площ в Паскал. или Па.

1 pa = 1 Nm - 2

В инженеринга, понякога стойността на pa е твърде малка, kPa и MPa често се използват за изразяване на натиск. Нисък вакуум, понякога изразен като "вакуум проценти", като водна пръстен вакуум помпа, бутална вакуумна помпа и прави въздушни корени вакуум помпа често се изразява в тази единица вакуум. Когато налягането р> 102Pa, вакуумът е делта.

Където: p0 - стандартно атмосферно налягане, Pa

Вакуумно зониране

С единица за измерване на степента на вакуум, степента на вакуум може да бъде изразена количествено. В момента обаче обхватът на налягането, използван във вакуумната технология, е достигнал 20 порядъка, за да се улесни използването, понякога е необходимо само грубо да се посочи общият обхват на степента на вакуум, обикновено качествено разделен на няколко района, грубо вакуум , В основата на разделението на районите са разгледани физичните характеристики на молекулното движение на газа във вакуумно състояние и ефективният работен обхват на вакуумна помпа и вакуумметър.

Що се отнася до разделението на вакуумните региони в Китай, термините на вакуумната технология (gb3163-1982) предвижда следното:

Грубият вакуум, ниският вакуум и високият вакуум се разделят според средния свободен път на газовите молекули в сравнение с характерния размер d на контейнера. Основното съображение е дали сблъсъкът между газовите молекули или сблъсъка между газовите молекули и стената на устройството играе решаваща роля в появата на физични явления.

Границата между високия вакуум и свръхвисокия вакуум е определена на 10-6Pa. Основната причина е да се разгледа вакуумният механизъм за физическа адсорбция. Само когато налягането р <10-6pa е="" очевидно,="" може="" да="" бъде="" получено="" от="" дифузионната="" помпа="" за="" екстракция,="" а="" налягането="" се="" измерва="" чрез="" измервателния=""> Що се отнася до границата между свръхвисокия вакуум и ултра-високия вакуум, това е така, защото статистическата флуктуация (по-голяма от 5 * 10-2) възниква, когато р <10-12>

Горните вакуумни области са разделени на региони, представляващи обхват на налягането, поради това, че налягането все още е изразено в градуси. Въпреки това, при нисък вакуум, висок вакуум, много висок вакуум и много висок вакуум, посоченото налягане е по същество различно, само относителна индикация на други количества.

Физическите характеристики на вакуума, вакуумната помпа и вакууммерите, използвани във всеки регион, са описани подробно в таблица 1.

С развитието на вакуумната технология, също се е променило разделението на вакуумните региони.