Комбинирана свръхвисоко вакуумна система
Aug 30, 2021| Комбинирана свръхвисоко вакуумна система
За някои вакуумни системи със специални изисквания, като тези, които изискват свръхвисок вакуум или свръхвисок вакуум без масло, и в същото време отговарят на нуждите от грубо изпомпване и могат да се справят с голямо количество газ, освободен по време на процеса, комбинираната система може да се използва за изпълнение на изискванията. ФИГ. 1 показва схематичната диаграма на вакуумната система на машината за свръхвисоко вакуумно покритие без масло. Основната помпа е изпръскващата йонна помпа, която е оборудвана с титанова сублимираща помпа с цел подобряване на вакуумната степен и заустване на голямото количество газ, произведено чрез изпаряващи се материали. Крайният вакуум може да достигне 6.67×10-7Pa. Помпа за предварително изпомпване с молекулярна ситопомпа като основна помпа. Освен това системата е оборудвана и с адсорбционен капан - механична помпена сурова помпена система, Когато налягането е по-голямо от 1333Pa, механичната помпа не е лесна за връщане на масло, механичната помпа директно вакуумира вакуумната камера, когато налягането на вакуумната камера е по-ниско от 1333Pa, механичната помпа през адсорбционния капан 9 от вакуумната камера за байпас.
1. Вакуумна камера 2. Свръхвисок клапан за вакуумна порта 3. Изпръскваща йонна помпа 4. Титанова сублимация помпа 5. Свръхвисок вакуумен клапан 6. Изпускателен клапан 7. Висок вакуумен клапан 8. Молекулярна сито помпа 9. Капан за адсорбция 10. Механична помпа
ФИГ. 1 Схематична диаграма на вакуумната система на машината за свръхвисоко вакуумно покритие без масло
IKS PVD компания, декоративно покритие машина, инструменти покритие машина, оптично покритие машина, PVD вакуум покритие линия, проектът "търн-ключ" е наличен. Свържете се с нас сега, E-mail:iks.pvd@foxmail.com