Дифузионна помпа
Apr 09, 2020| Дифузионна помпа
Както всички знаем, помпата за дифузия на масло е вид помпа, често използвана в система с висок вакуум. И така, въпросът е какви са методите? Методите са следните: първо, изборът на добро представяне на маслото на дифузионната помпа върху граничното налягане на дифузионната помпа на масло има голямо влияние. Ако не. 3 се използва масло за дифузионна помпа, крайното налягане може да достигне само 10-5pa; Когато се използва силиконово масло 275, крайното налягане може да достигне 10-7pa, а крайното налягане може да се увеличи с 2 порядъка. Второ, парциалното налягане на изпомпвания газ също се променя с разликата на помпеното масло, което е влиянието на състава на помпеното масло. Следователно трябва да се избере маслената дифузионна помпа с добри показатели, за да се получи ултра висок вакуум. Тъй като маслото на дифузионната помпа е толкова важно, как да изберем? Изискванията на дифузионното помпено масло са: относителното молекулно тегло на помпата да бъде голямо, налягането на парата при стайна температура да бъде ниско, термичната стабилност и устойчивостта на окисляване да бъдат добри, точка на замръзване и нискотемпературен вискозитет да бъдат ниски, нетоксични, устойчивост на корозия, цената е ниска. Дифузионна помпа с високо вакуумно масло обикновено ИЗПОЛЗВА 3 дифузионна помпа масло, ултрависоко вакуумно ИЗПОЛЗВА силиконово масло, изисква ултрависока вакуумна система без въглеводороди, дифузионната помпа ИЗПОЛЗВА флуорно масло. Второ, използването на разумна технология за печене на масло дифузия помпа за получаване на ултрависока вакуумна система трябва да се извършва висока температура печене, целта е да се намали скоростта на материала. Материалите в атмосферата могат да абсорбират и абсорбират някои газове, когато са във вакуум, той ще произведе десорбция, газът се отделя бавно, за да се ускори десорбцията, като се използва печене.
Пече? Звучи просто, нали? Не, не, не, не, не, не, не, не, не, не, не. Принципът е по-високата температура е по-добра, може да ускори въздуха, но също така да обмисли дали материалът може да издържи на високата температура. Печете на подходящата температура. Обикновено метални материали, като неръждаема стомана, температура на печене 250 ℃ - 450C; Температурата на печене на неметални материали е 80 ℃ - 100 ℃ . Време за печене над 4h - 8h. Времето за печене на изключително висок вакуум е повече от 24 часа. Изпълнение на типична система за помпи с дифузия на метално масло (след изпичане) и остатъчни газови компоненти в ултрависока вакуумна система на дифузионна помпа за метално масло. Трето, добавете устройство за студено захващане, за да предотвратите обратния поток на помпеното масло и да прехвърлите помпеното масло през входящия поток на помпата към феномена на изпомпвания контейнер се нарича обратния поток. Явлението маслени молекули, които се движат по стената в изпомпвания контейнер, се нарича обратна миграция. Както обратният поток, така и обратната миграция влияят на крайното налягане на вакуумната система. Студеният капан се използва широко в свръхвисока вакуумна система, той е инсталиран между входа на помпата и вакуумната камера, не само може ефективно да улавя обратния поток на парата на дифузионната помпа и частичния разцепен разтвор, но също така може да премахне парата от вакуумна камера. Ултра висока вакуумна система с различни капани. Свръх висок вакуум от 10-8pa ~ l0-10pa (или по-висок) може да се получи след щателно печене и дегазация на висока температура. Най-често използваният капан за студено охлаждане е студеният азотен студ, тъй като при температурата на течния азот налягането на изпареното масло в помпата е много по-ниско от изискванията за свръх висок вакуум. Дизайнът на капана с течен азот трябва да гарантира, че молекулите, преминаващи през капана, ще отговарят на студената повърхност и структурата трябва да бъде разумна. След монтирането на студения азотен студено уловител скоростта на изпомпване на помпата за дифузия на маслото се намалява не повече от 40%.
Намаляването на обратната дифузия на изпомпвания газ е един от факторите, които ограничават дифузионната помпа за получаване на свръх висок вакуум. Антидифузията на газ е свързана с молекулната маса. Колкото по-малка е масата, толкова по-лесно е антидифузията. Има два метода за предотвратяване на обратната дифузия на водород в дифузионната помпа: първо, намалете налягането на отработените газове на изхода на дифузионната помпа, използвайки две дифузионни помпи на серия, за да постигнете; Второто е да се монтира капан за титаниево охлаждане с течен азот върху входящата тръба на дифузионната помпа, за да се улавя антидифузионният водород.
IKS PVD Technology (Shenyang) Co., Ltd, Производител на машина за вакуумно покритие PVD от Китай, основен продукт
съдържа: машина за декоративно покритие, машина за покритие с инструменти, машина за оптично покритие, линия за PVD покритие. Свържете се с нас сега.E-mail: iks.pvd@foxmail.com
