Фактори на неравномерно тънък филм предизвика чрез магнетронно разпрашване на вакуумно покритие Machine

Факторите на неравномерно филм слой причини отМагнетронът нанасяне на покритие прахово покритие на вакуум машинавключва три аспекта: вакуум държавата, магнитно поле и газ аргон.

Принцип на работа наМагнетронът нанасяне на покритие прахово покритие на вакуум машинае, че под вакуум членки, електрона на ортогонални магнитното поле да бомбардират аргон и формират аргон Йон, тогава бомбардировка на целта материал, така че да целева ion могат да бъдат депозирани върху повърхността на работа на парче да форма тънък филм.

Вакуум държавата има нужда от помпената система за контрол и всеки отвор трябва да бъде едновременно задействани и последователно. Ако изпомпване не е еднакъв, налягането вътре в вакуумна камера ще бъде неравномерно. Налягането е определено влияние върху движението на йони. В допълнение трябва да се контролира по време на изпомпване. Твърде кратък ще предизвика недостатъчен вакуум, но това е твърде дълъг и разхищение на ресурси.

Магнитното поле работи перпендикулярно, но е невъзможно да се направи Интензитетът на магнитното поле 100 % еднакви. Когато общото магнитно поле е силна, дебелината на филма е голям, но това е малък, напротив, така че тя ще предизвика на несъответствие на дебелината на филма. Въпреки това в производствения процес, неравностите на филма дължим към non-еднообразие на магнитното поле не е обичайно.

Аргон газ еднородност също засяга филм еднообразие, и принципа е подобен на вакуум. Тъй като аргон влиза вакуумна камера, налягането вътре в камера ще се промени. Еднакво налягане може да контролира уеднаквяване на дебелината на филма на магнетрона машина за нанасяне на покритие прахово вакуум покритие.

За повече от десетилетие,IKSспециализирана във всички видове на вакуум покритие използваното оборудване производство, посветен на изследвания и развитие и производство на машина за вакуум покритие, с най-новите технологии постоянно продукция отговарят на нуждите на пазара на вакуумни Агрегати шпакловъчни , предоставяне на клиенти с персонализирани технологични решения и оборудване.