Характеристики на измерване на вакуум
Jul 02, 2018| 1. Широк обхват на измервателното налягане: 10 5 до 10 -14 Pa.
2. Повечето вакуумни датчици правят индиректни измервания. Когато налягането е от 10 до 10 Ра, силата на единица площ може да бъде директно измерена. Въпреки това, повечето вакуумни налягания, които трябва да бъдат измерени, са по-малки от описаните по-горе и не могат да бъдат измерени директно. Индиректните измервания трябва да се извършват, като се използват определени характеристики (като топлинна проводимост, вискозитет и йонизация) на газове при ниско налягане.
3. Най-често се използва технология за измерване на количеството неенергия. Тъй като технологията за измерване на количеството неенергия има предимствата на висока чувствителност, бърза реакция, измерване на автоматични и дълги разстояния и т.н., повечето измервателни уреди използват този метод. Електронният вакуум манометър се състои от две части, вакуум контролер и електронно измервателно устройство (контролен и индикатор). Габаритът е чувствителен елемент. Той използва определени характеристики на газа при ниско налягане за преобразуване на неелектрическото газово налягане в електрически сигнал. Измервателната схема след това усилва и показва изходния електрически сигнал. Когато е необходимо, изходният сигнал ще бъде изпратен до автоматичния рекордер и автоматичното управление, за да се постигне автоматизация на вакуумното оборудване. Условията, необходими за регулиране на превръщането на неелектрическото налягане в електричество, се осигуряват от управляващото устройство на измервателната верига.
4. Отчитането на дебита на частичния вакуум е свързано с вида и състава на газа. Следователно, особено внимание трябва да се обърне на типа и състава на газа по време на измерването, в противен случай това ще доведе до голяма грешка.
5. Точността на измерване не е висока. Непрякото измерване на налягането често изисква допълнителна енергия за подпомагане. Добавената енергия може да бъде топлинна енергия, електрическа енергия, механична енергия и радиоактивна енергия. По този начин грешките в измерването неизбежно се въвеждат едновременно с въвеждането на допълнителна енергия. Поради това вакуумните манометри са по-малко точни от другите физични измервателни уреди. Например, ако несигурността на референтния измервателен уред за измерване на вакуум и стандартния инструмент е (2 ~ 10) × 10-2, грешката на измерване на работния инструмент е в рамките на ± 20 × 10 -2 .