Система за висок вакуум
Oct 25, 2023| Система за висок вакуум
Системата с висок вакуум се използва широко и диапазонът на работното й налягане обикновено е 1,33×10-2 ~ 1,33×10-3Pa. Обичайните помпени системи са:
(1) Вакуумна система с механична помпа от серия дифузионни помпи. Както е показано на фигура 5-2, тази система може да получи вакуум от 10-2 ~ 10-5Pa, който обикновено се използва в оборудване за приложение с относително малко изгорели газове по време на работа. Системата има предимствата на проста структура, надеждна работа и ниска цена. Недостатъкът е, че системата стартира бавно и времето за предварително изчертаване е дълго. Маслените пари от дифузионната помпа лесно се връщат обратно във вакуумната камера.
(2) дифузионна помпа серия масло бустер помпа, а след това серия механична помпа вакуумна система. Системата има кратко време преди теглене, но бавен старт.
(3) серия дифузионна помпа Roots помпа и след това серия механична помпа вакуумна система. Стартира бавно, но времето за предварително изпомпване е кратко.
IKS PVD компания, машина за декоративно покритие, машина за покритие на инструменти, DLC машина за покритие, машина за оптично покритие, PVD линия за вакуумно покритие, проектът до ключ е наличен. Свържете се с нас сега, имейл: iks.pvd@foxmail.com