Въвеждане на контролер на масовия поток

Масов контролер на потока (MFC) се използва за точно измерване и управление на масовия дебит на газа. Обикновено се състои от датчик на потока, клапан за контрол на потока, усилващ управляващ кръг и канал за управление на шунт. Неговото работно захранване и показване на потока и настройка на операциите чрез неговия поддържащ поток дисплей захранване.

Използвайте и функциите

MFC играе важна роля в научните изследвания и производството в много области като полупроводниковата микроелектроника, разработването на специални материали, химическата промишленост, петролната индустрия, медицината, опазването на околната среда и вакуума.

Типичните приложения включват: Електронно технологично оборудване като дифузия, окисляване, епитаксия, CVD, плазмено офортване, разпрашване, йонна имплантация; и оборудване за вакуумно покритие, Газови хроматографи и други аналитични инструменти.

Регулатор на масовия дебит и масов дебитомер с висока точност, добра повторяемост, бърза скорост на реакция, мек старт, стабилно и надеждно работно налягане (което може да работи при условия на високо налягане или вакуум), операцията е лесна за употреба. MFC може да бъде инсталиран на всяка позиция и е свързан с компютъра, за да осъществи автоматично управление.

Разходомерът обикновено е разделен на следните типове:

1. Обемен разходомер

Той използва механичния измервателен елемент за непрекъснато разделяне на флуида на една известна част за обема. Обемният поток на флуида се измерва в зависимост от броя пъти на обема на течността, напълнени и разтоварени един след друг последователно от измервателната камера.

2. Плавателен дебитомер (роторен разходомер)

Потокът на флота е вид променлив разходомер, във вертикален конус отгоре надолу, кръгообразното напречно сечение на тежестта на поплавъка се поддържа от течната мощност, така че поплавъкът може да бъде свободен в конуса Rise and fall.

3. Разходомер за диференциално налягане

Тя се основава на диференциалното налягане, произведено от детектора на потока, монтиран в тръбата, състоянието на известния флуид и брояча, за да се изчисли потокът между тръбата и тръбата.

4. Разходомер за уличен разходомер (VSF)

Не-рационалният генератор на вихри се поставя във флуида и течността се редува разделяна от двете страни на генериращото тяло, за да се освободят две серии редовно преплетени вихрови инструменти.

5. Разходомер на турбината

Това е основният тип скоростен дебитомер. Той използва ротора с много остриета (турбина), за да улови средната скорост на флуида и извади инструмента за обема на потока или общото количество.

6. Ултразвуков разходомер

Това е измерване на потока чрез измерване на ефекта на флуидния поток върху ултразвуковия лъч (или ултразвуков пулс).

7. Електромагнитен разходомер

Електромагнитният разходомер е вид инструмент за измерване на проводимостта на течността съгласно закона за електромагнитната индукция на Faraday.

8. Дебитомер за топлинна маса

Сензорът за термалния разходомер съдържа два сензорни елемента, сензор за скоростта и температурен датчик. Те могат автоматично да компенсират и калибрират температурната промяна на газа. Електрическата нагревателна част на инструмента загрява сензора за скорост до определена стойност, по-висока от температурата на работното състояние, така че да се образува постоянна температурна разлика между сензора за скорост и сензора при работна температура. Когато температурната разлика се запази постоянна, консумираната от електрическа енергия енергия е пропорционална на масовия поток на газовия поток и е подходяща за измерване на единичен газ и фиксирана пропорция на многокомпонентен газ.