Въпроси, които се нуждаят от внимание при използването на криогенна помпа

Въпроси, които се нуждаят от внимание при използването на криогенна помпа

1. Влияние на топлинното натоварване на криогенното портче на помпата
   Термичното натоварване на криогенната популационна бариера на помпата обикновено се изчислява в съответствие с 300K газ. Ако температурата на входа на криогенната помпа е твърде висока, трябва да се приемат някои методи, за да се предпази източника на топлина. В противен случай, температурата на входния прегазен може да надвишава 100K, което пряко влияе на температурата на адсорбционния масив и засяга заснетото газ.

   2. Въздействие на внезапна тока върху работата на криогенната помпа
   По време на непрекъсната работа на криогенната помпа, активен въглен адсорбция на хелий е наситен. Ако се появи прекъсване на захранването за кратък период от време, хелиевият газ ще бъде освободен, когато се отвръща на адсорбционния масив. Водните пари също ще бъдат десорбирани от вторичния студен екран и ще пренадебелят и адсорбират от адсорбцията. В този случай криогенната помпа се нуждае от регенеративно лечение.
   3. Хелий чистота на нискотемпературна система конфигурация преса
   Хелиевата преса трябва да бъде пълна с аргон с висока чистота, изискващ 99,999%. Неонът е най-разпространеният примек, който може да кондензира върху нискотемпературната повърхност на първичната и вторичната охлаждаща глава, което води до износване на уплътнения. По време на поддръжката на хелиевата преса, трябва да се обърне специално внимание на метода на пълнене на хелий, и въздух не трябва да бъдат внесени, в противен случай тръбопроводът ще бъде блокиран.
   4. Влиянието на маслената мъгла върху криогенната помпа
   Използването на криогенна помпа, ако във вакуумната камера има източник на газова мъгла от нефт, тя ще замърси активния въглен в адсорбционната матрица, така че да загуби своя капацитет за изпомпване. При регенерацията на криогенната помпа е необходимо също така да се предотврати замърсяването с нефт от активен въглен.
   5. Отстраняване на опасни газове
   Криогенната помпа не трябва да се използва за отстраняване на опасния газ след улавяне, освобождаване при регенериране, застрашаване на околната среда и личната безопасност.
   6. Предпазен клапан за нискотемпературна система
   Когато криогенната помпа се регенерира, заловеният газ понякога се освобождава незабавно поради повишаването на температурата, което води до повишаване на налягането в камерата на криогенната помпа и застрашава безопасността на помпата. За тази цел криогенната помпа трябва да бъде монтирана с предпазен клапан, за да се освободи въздух при свръхналягане. Предпазният клапан трябва да се проверява редовно. Големите вакуумни системи и криогенните помпи понякога имат висока височина на монтажа. Не е лесно за операторите да работят, и по-голямо внимание трябва да се обърне на надеждността на предпазния клапан, в противен случай това ще доведе до големи аварии.

   
   

IKS PVD компания, декоративна машина за покритие, машини за нанасяне на покрития, оптични покрития машина, PVD вакуумно покритие линия. Свържете се с нас сега, Е-мейл: iks.pvd@foxmail.com