Производителност и предимствата на турбината молекулярна помпа

Турбо молекулярна помпа е използването на високоскоростен въртене на движещи се перката да премине на инерция на газовите молекули, газ генерирани еднопосочен поток навакуум помпа. Турбо молекулярна помпа главно компоненти от тялото на помпата, ротор с нож (т.е. движат ротор), статични ротор и задвижваща система.

Предимство

Като турбо молекулярна помпа в някои аспекти по-добре от криогенни помпа, Йон помпа и Дифузията работа на помпата е по-високо. Следователно в общия случай, по-използване на turbo помпи.

(1) чист, масло без пара отлив

Турбо молекулярна помпа може да работи без никакви добре и работят според правилата на операция, която може да осигури чиста вакуум среда за изпомпва контейнер и не съдържа никакви въглеводороди.

(2) удобен за използване

В много приложения turbo помпи не могат да изискват висока вакуумни клапани или груб вакуумни клапани. Просто натиснете бутона, помпата може да започне да работи, от атмосферното налягане може да бъде намалена до крайната налягане. Системата може да бъде груб изпомпва от турбо молекулярна помпа и може да се ускори до скорост на работа. Това елиминира необходимостта от клапани, тръбопроводи, капани, клапан контроли и други компоненти, вакуум. Той също така премахва провала на тези компоненти.

(3) силна газ транспортния капацитет

Повечето турбо молекулярна помпи имат силна способност да доставят леки газове като водород и хелий, което ги прави идеални за операции по обработка под ултрависока вакуум. Турбо молекулярна помпа, специално предназначени за отстраняване на корозивни газове е подходящ за ецване, реактивен Йон офорт, Йон греда механична обработка, ниско налягане химически изпарения отлагане, epitaxy и йонна имплантация процеси. По време на процесите евакуирани газ може да корозират Конденсатни помпи, помпи за Йон, дифузия помпа масло и дори да унищожат на стандартните незащитени турбо молекулярна помпи. Тъй като турбо молекулярна помпа принадлежи на предаването помпа, изпомпва газ ще не се натрупва в помпата, така че е подходящ за процеса на високи газ натоварване.

(4) подходящи за ултра висок вакуум приложения

Добър турбо молекулярна помпа за запечатване и дегазиране е оборудван с два етапа центробежна помпа с добра производителност (или на същата производителност сухо предварително помпа). Последен вакуум може да достигне 10^-9до 10^-10Torr (133.3 да 13.33 nPa). Ако турбо молекулярна помпа е свързан към друг турбо молекулярна помпа, с помощта на метал запечатани и добре такива помпа, му последен налягане обикновено е 1 × 10^-101 × 10^-11Torr (13.33 да 1.333 nPa) между. И за разлика от Конденсатни помпи или помпи с йони, турбо молекулярни помпи работят при пълна изпомпване скорост при ултра-високо вакуумно условия.

(5) добро представяне под високо налягане

Входното налягане на някои турбо молекулярна помпи могат да работят между 10^-1и 10^-3Torr (13.33 БКП до 133.3 МРа). В този натиск диапазон Йон помпата не може да се използва, за криогенни помпа трябва да газта скорост на изпомпване или редовни регенерация, и работата на помпата на дифузия ще стане нестабилна.

(6) кратък цикъл време

Повечето от турбо молекулярна помпи, особено по-малките един, обикновено нужда 1 ~ 3 мин да достигне нормалната скорост на движение. Помпи за различни видове и модели са различни и могат да бъдат затворени веднага и може да бъде изложен на атмосферата.

(7) нормална употреба за дълго време

В някои приложения по време на нормалното използване на турбо молекулярна помпа е превъзхожда тази на други помпи. Защото на тежък газ натоварване и клапан течове, ще предизвика криогенни помпа често променлив интервал регенериране или Йон помпа често ремонт и турбо молекулярна помпа може да се използва за премахване на помпа масло заразяването на вакуумна камера.