Принципът на йонизация вакуумметър

В ниско налягане газ броят на положителни йони, генерирани от йонизация на газовите молекули е пропорционална на налягането на Газа. Йонизация вакуумметър е вакуум измервателен уред, работещ на принципа, че налягането на Газа да се измерва е пропорционална на йонизиран поток, произведени от йонизацията на газове при определени условия.

Според различните методи за генериране на йони, вакуумметър за йонизиращо газ от гореща катод излъчва електрони се нарича гореща катод йонизация вакуумметър, и горещи катод йонизационен манометър е се състои от гореща катод габарит тръба и измерване инструмент. Измервателният уред се състои от захранването габарит тръба и предава текущи регулатор, Йон текущото измерване усилвател. Горещи катод йонизационен манометър се свързва с измерените вакуумна система, която е триод с катод, врата и колекционер. Колектор електрически потенциал е катод отрицателен потенциал, докато мрежата е спрямо катода положителен потенциал. Когато Габаритът на йонизацията е електрифицирана и топъл, катода отделя електрони, които се сблъскват с газовите молекули процес достига до мрежата, в резултат на йонизация на положителни йони и електрони. Когато текущата емисията е фиксирана, броят на положителни йони е пропорционална на налягането на газ по време на изпитването. След положителните йони се събират, положителните йони се усилва от измервателна верига и вакуум степен да се измерват може да се чете от индикатора на одобрение.

Горещи катод йонизационен манометър е подобна на триод габарит, както е показано на фигура а, която се състои от цилиндър форма плоча (Йон колектор) C, мрежата G и разположен в центъра на мрежата катод спиралата мрежа съставена от F, Цилиндърът образна плоча е външната страна на мрежата на анода.

Фигура б е външен контрол на веригата, потенциални мрежата е между + 100 ~ +300 V, както и потенциалните плаката е между 0 ~ – 50V. Да излъчва електрони на катод спиралата F след електрическо отопление. Тъй като мрежата на анода G е положително напрежение, излъчената електроните се засилват, електроните се сблъскват с вътрешни газови молекули, така че газ молекули йонизация, толкова по-газ налягане, по-голяма плътност на газ, повече възможности за сблъсък, в резултат на по-положителни йони. Положителни йони в цилиндрични плоча отрицателно напрежение под действието на положителни йони за привличане на образуването на плоча ток, по-голяма плътност на молекулен газ (т.е., по-голямо налягане), толкова по-голяма табела ток, напротив е малък.Плаката ток в диапазона на измерване е пропорционална на измереното налягане.

Когато вакуумна система излага атмосферата, тя ще абсорбира много газове върху повърхността на йонизация габарит стъклен балон и повърхността на електрода. Във вакуумна среда газ ще бъдат пуснати отново, което ще се отрази на точността на измерването. За да се елиминира този ефект, габарит тръбата трябва да се дегазира преди измерването. Габаритът на йонизация използва печене метод за обезгазяване, тоест, спиралата и мрежата може да се зарежда и съответно, загрята докато табела електрод, използвайки високочестотни нагревателно индукционно или електрон бомбардировки газ е освободен преди измерване. Общи йонизация вакуумметър има дегазационни функция, когато степента на вакуум е повече от 1 × 10^-2 БКП, за дегазация на йонизация габарит по спецификация.