Дебелина на покритието от PVD и проверка

Дебелина на покритието от PVD и проверка

IKS PVD, PVD машина за производство на вакуумно покритие от Китай, свържете се с нас сега, iks.pvd @ foxmail.com

Дебелината на покритието се отнася до външната повърхност на покритието и разстоянието до повърхността на подложката под покритието, обикновено в 0 ~ 15um, има много методи за откриване, следното въвежда сегашното приложение на по-често срещаните методи: метод на напречно сечение, сферичен метод на маркиране и метод на неразрушаващо откриване.

1. метод на секция

Раздел метод е разрушителен метод за откриване на детайла, не може да се използва отново.то ще се провери на детайла или пробата по дължината на разрез, под микроскоп 1000 ~ 10000 пъти по - големи за измерване, по - голям коефициент на увеличение, по - малък на човешкия фактор, по-висока прецизност. Границата между покритието и субстрата е много очевидна и е удобно да се измерва по скалата в sem.Разстоянието между началната и крайната точка на линейката е дебелината на покритието. измерване е точно или не е правилно да се прецени границата между покритието и субстрата, в противен случай ще доведе до грешки.Ако интерфейсът между покритието и субстрата е размита, най-добре е да не се използва този метод за измерване. метод за измерване е интуитивен и точен.В допълнение, когато този метод се използва за измерване, е по-добре да се наблюдава раздела, който трябва да бъде относително плоска. В противен случай трябва да се извърши ръчна обработка, за да се направи разделът дори за наблюдение и измерване.

Масленото огледало може да се използва и за наблюдение на секцията за покритие за измерване. Нарязаната проба се поставя в пластмасов прах за пресоване, изгаряне и формоване в блокова проба, след което изпитваната повърхност се смила и изпитваната повърхност се смила и нивелира. По време на измерването въздухът, изпомпван от маслото, се измерва между обектива и измерената повърхност, за да се намали смущенията.

2. Ball-Crater

Методът за маркиране на топките е да се използва определен диаметър на стоманената топка върху повърхността на шлайфането на покритието, покритието и шлифоването на матрицата в яма, шлифовъчната секция за дъга. Изискванията за операция на шлайфане са същите като тези на изпитването на топката, което измерва сцеплението на покритието. След шлифоване на топката, изображението се наблюдава под микроскопа през системата за изображения и под монитора.

Външният вид на детайла ще бъде повреден чрез метода на топката. Ако точката на откриване не е във функционалната зона, тя обикновено няма да повлияе на повторното му използване. Въпреки това, за да се избегнат грешки, е необходимо да се обсъди и получи съгласието на собственика на артефакта преди тестване с този метод.

3. безразрушителен контрол (NDT)

Методът за неразрушаващо изпитване е да се открие дебелината на покритието на детайла, без да се повреди детайла. Има много видове методи за безконтактно изпитване, като цяло, неразрушаващите тестове трябва да осигурят субстрата и състава на покритието, или да осигурят парче проба от покритие, за да анализира данните от еталона, в теста, ще се измерва и съставът на покривния състав се сравни с главните блокове проби изведе теорията за дебелината на покритието, така че за различен субстрат и анализ на състава на покритието се прави измервателна програма, а след това и на действителното измерване. Разбира се, някои инструменти могат да бъдат измерени директно, без да се правят пробни блокове, но грешката е голяма. Този раздел основно въвежда рентгенова флуоресценция (XRF).

XRF инструмент се състои главно от рентгенов източник на възбуждане и система за откриване. Рентгенова тръба произвежда рентгенови лъчи) (радиация или ударен детайл за измерване, всеки елемент на детайла, който трябва да се измери, мотивиран, вторични рентгенови лъчи и вторичните лъчи, излъчвани от различните елементи със специфични енергийни характеристики (т.е. според енергийната характеристика на типовете вторични лъчи и съдържанието на елементите могат да се научат). Системата за откриване измерва енергията и количеството на тези възбудени вторични лъчи. преобразува откритата информация за енергията и количеството в съответните елементи и съдържание, така че да може да се открие видът и съдържанието на елементите в изпитания детайл. С помощта на принципа на рентгенова флуоресценция всеки елемент в периодичната таблица може да бъде измерен теоретично. в практическо приложение, ефективният диапазон на елементарно измерване е от елемент 11, натрий (Na), до елемент 92, уран (U).

Съгласно горните принципи, при измерване на дебелината на покритието на пробата, XRF анализира съответно елементарния състав на матрицата и покритието. Обикновено съставът на елементите на покритието е много различен от този на матрицата. Следователно софтуерът за изчисление може да изчисли дебелината на покритието. Ако съставът на елементите на различни субстрати и покрития се открива отделно предварително и се съхранява в компютърната база данни като стандарт, когато детектирането на XRF, състава на открития елемент се сравнява със стандарта, за да се намери съответната матрица и тип покритие, и се прецени интерфейсът между покритието и субстрата, така че да се измери дебелината на покритието по-точно.