Някои мерки за подобряване на адхезионната якост на интерфейса на филма и субстрата
Dec 11, 2018| Някои мерки за подобряване на адхезионната якост на интерфейса на филма и субстрата
IKS PVD грижа за вашето PVD покритие бизнес, свържете се с нас сега, за да получите повече подробности, iks.pvd @ foxmail.com
За да се получи покритието с висока адхезионна якост, в допълнение към отчитането на двата вътрешни фактора за създаване на адсорбционни условия и елиминиране на напрежението на филма в процеса на образуване на филма, трябва да се вземат мерки от много външни фактори, влияещи върху сцеплението силата на филма
1. Поддържането трябва да бъде строго изисквано
Субстрат сортиране е по-скоро "материал е широко използван, неговата форма ще бъде различен в зависимост от използването, като например декоративно покритие филм корозия устойчиви филм субстрат е покритие части от себе си, и половината ръководство Хю и интегрална схема, копие парче обикновено приема тънък лист, с мембрана, прикрепена като част от веригата и също така да има определени изисквания за ефективността на субстрата, като изискванията имат по-ниска повърхностна грапавост и гладкост (т.е. повърхността не е правилна степен), особено за тънки филм верига със субстрата, повърхността трябва да бъде гладка, трябва да се постигне най-високата до най-ниската на единица площ площ е по-малко от 25-1500nm, структурата на материала трябва да има висока плътност.На второ, субстрат трябва да има висока химическа стабилност , не реагира с филмовия материал, не се ограничава от използването на химически реактиви в процеса на тънкослойната схема, но също така изисква субстрата да има определена термична стабилност d устойчивост на топлинни удари, за да издържат на процеса на печене и нагряване; Висока топлопроводимост, за да се предотврати прегряването на компонентите на електрическата верига и трябва да има определена механична якост, да се предотврати счупването и коефициентът на топлинно разширение да е равен на този на филмът, за да се предотврати изгарянето на филма под напрежение; Ако масово производство на субстрат разходи трябва да бъде ниска.
2. Субстратът трябва да бъде внимателно предварително обработен за обшивка
Субстратът в камерата за нанасяне на покритие трябва да внимава преди обработката (почистване) по време на обработката, за да се постигне целта на детайла за дезинфекция на маслото и дехидратация поради наличието на повърхността на нефта. само разрушават вакуумната камера на вакуум и маслото под термично разграждане може също така да увеличи мембрания слой в процеса на прибавяне на примеси, мръсни мазнини, включително прах, изпотяване и повърхност на обработвания детайл И така нататък. Деконтаминацията изисква отстраняване на окислителния слой, burr и хлабав тъкан на повърхността на субстрата.Тогава след процеса на покритие на електрони, йони бомбардиране, така че повърхността на субстрата преди покритието се появяват молекули
Степен на чистота на атома, която е важна мярка за подобряване на твърдостта на покритието.
Източниците на замърсяване на повърхността на основата са главно както следва:
1) Всички видове прах, прилепнали по време на обработката, предаването, опаковането и поставянето на частите .
2) смазочно масло за полиране на паста и мазнини пот петна, залепени от части по време на преработка, съхранение и транспорт
3) Оксидиращ филм, образуван на повърхността на части във влажен въздух;
4) Газ абсорбиран и адсорбиран върху повърхността на частите.
Над тези замърсявания основно може да се използва мазна или химически чист метод, за да се отървете от него трябва да се отбележи, че е в чист детайл, докато трябва да бъде срещу контейнера на инструмента, който ИЗПОЛЗВА в същото време почистване и поддържане на чистота, също не може да постигне целта, в противен случай .
3. Подложката се загрява по време на образуването на филм
Температурата на субстрата, размера на зърната, процесът на растеж на зърното се ускоряват, намаляват дефектите на коагулацията на мембраната, подобряват прекристализацията, така че да се подобри образуването на мембраната и по този начин да се намали вътрешното напрежение на мембраната и температурата на субстрата е твърде висока. стрес в увеличаване на мембраната, за да се намали общото напрежение на мембраната, температурата на нагряване на субстрата до оптимално, когато обикновено не по-висока от 400 ℃ .
4. Контролирайте температурата на източника на изпарение и налягането на парите
Загрява се източникът на изпаряване до температурата на изпаряване (налягането на пара и температурата), някои от металните атоми да излязат от твърдата фаза, при определена скорост летят с по-висока температура на изпаряване, не само от броя на металните атоми, изтичането и кинетичната енергия на металните атоми е голяма, следователно с прекомерна топлинна бариера на енергия, в основния лист, образувайки силна химическа адсорбция, но температурата на източника на изпарение е прекомерна, може да доведе до бързо увеличаване на налягането на парите, ускоряване на отлагането работата на мембраната и напрежението за това трябва, в съответствие с различната природа на мембраната, да контролират съответната температура на изпаряване и парното налягане.
5. Основен филм между субстрата и филма
Предварителното покритие на основния филм върху субстрата е едно от технологичните мерки за увеличаване на адхезионната якост на интерфейса на мембранната основа. Например, когато трябва да се използва технология за вакуумно йонно покритие за приготвяне на сребърно покритие от алуминий, разтворимостта на сребро в алуминия е около 1% около, ако върху алуминиево сребро директно, адхезионната якост е слаба Разтворимост в алуминия и мед) е 5.6%, алуминиевата разтворимост в медта е 9.4%, разтворимостта на среброто в медта е 8%, така че първото медно покритие върху алуминий като основен филм може значително да подобри сребърното покритие със сребърно покритие върху повърхността на алуминиеви характеристики на алуминиев основен метал И като позлатен меден паладий в стъкло или керамика Адхезията е лоша, след това първо и след това фолиото за закрепване Позлатният меден паладий отново може да подобри адхезионната якост В долната част на мембраната, използвани понастоящем материали многофункционален хром молибден, никел титан, тантал и др. метал.
6. Твърдото третиране се извършва върху субстрата след образуване на филм
След нанасяне на филм може да се извърши необходимото обработване на термообработка, температурата може да бъде малко по-висока от температурата на отлагане или покриващите части след образуването на филм могат да бъдат поставени при 400 ° C при висока температура на печене 8 часа при фиксиране на филм при висока температура. Механизмът е да се засили топлинното движение на молекулите на базата на мембраната, взаимната дифузия на интерфейса и да се образува сплав с висока якост.
7. Прах, влага и маслоустойчиви по време на процеса на нанасяне
Прозрачно покритие на вътрешния прах, настройка на работилницата с висока чистота, поддържане на чиста вътрешна височина е изискването супер размер на покритие филм Въздух влажност по-голяма площ, с изключение на субстрата преди покриване вакуумна вътрешна стена и всеки компонент в почистване камера вакуум, сериозно искам да печене на газ Маслото, за да се избегне маслото във вакуумната камера, обърнете внимание на маслената дифузионна помпа за връщане на маслото, дифузионна помпа за отоплителна мощност трябва да се вземат високи мерки Един метър покриващ машина за производствения експеримент с пет слоя алуминиева плоча като механична бариера "е да се уверите, че помпата за дифузия на маслото Парата не може да се върне във вакуумната камера, което намалява скоростта на екстракция, но подобрява адхезията между мембранните основи.