Разпръскваща йонна помпа - Комплект помпа за сублимация на титан
Aug 31, 2021| Разпръскваща йонна помпа - Комплект помпа за сублимация на титан
1. Вакуумна камера 2. Ултра-висок вакуумен вентил 3. Разпръскваща йонна помпа-Комплект помпа за сублимация на титан 4. Ултра-висок вакуумен вентил 5. Студен уловител 6. Дифузионна помпа 7. Освобождаващ клапан 10. Механична вакуумна помпа
Фиг. 2 Комбинирана ултра-висока вакуумна система
Фигура 2 показва друг тип комбинирана ултра-висока вакуумна система. Системата еподходящза вакуумни запечатващи пещи, пещи от танталов чип и друго оборудване. Основната помпа на системата е йонната помпа за разпръскване и титановата сублимационна помпа. Граничният вакуум на вакуумната камера може да достигне 5 × 10-7Pa. Системата е оборудвана с агрегат, съставен от маслена дифузионна помпа и механична помпа, която се използва за изпомпване на суров и помпа за предварително изпомпване като основна помпа и може едновременно да изпомпва голямо количество газ, отделен по време на процеса.
Фирма IKS PVD, машина за декоративно покритие, машина за покриване на инструменти, машина за оптично покритие, PVD линия за вакуумно покритие, проектът до ключ е на разположение.Свържете се с нас сега, имейл:iks.pvd@foxmail.com