Характеристики на измерване на вакуум

1. Диапазон на измерване на налягането: 10 ⁵ ~ 10 ^-14 Pa.

2. По-голямата част от вакуума е косвено измерване и силата на площта на единицата може да бъде измерена директно само когато налягането е от 10 до 10 Pa. Въпреки това повечето измервания на налягането в атмосферния въздух са малки от посочените по-горе, не могат да бъдат измерени директно, трябва да се използват някои характеристики на газа при ниско налягане (като топлинна проводимост, вискозитет и йонизация и т.н.) за индиректно измерване.

3. Приема се неелектрическа измервателна технология. Благодарение на неелектрическата измервателна технология с висока чувствителност, бърза реакция, може да се постигнат автоматични и дълги измервания, като по-голямата част от вакуума се използва с този метод. Електронният вакуум манометър се състои от две части на вакуум габарит и електронна измервателна верига (контролна и индикаторна единица). Габаритът е чувствителен елемент. Той преобразува налягането на неелектрическото количество газ в електрически сигнал, като използва някои характеристики на газа при ниско налягане и след това усилва и показва изходния електрически сигнал на габарита от измервателната верига. Когато е необходимо, изходният сигнал се изпраща към автоматичния рекордер и автоматичното оборудване за контрол, за да се осъществи автоматизирането на вакуумното оборудване. Изискванията за преобразуване на неелектричното налягане в електрическо зареждане се осигуряват от управляващото устройство на измервателната верига.

4. Четенията на някои вакуумни датчици са свързани с вида и състава на газа. Поради това измерването трябва да обърне специално внимание на типа и състава на газа при измерване; в противен случай това ще доведе до голяма грешка.

5. Точността на измерване не е висока. В процеса на непряко измерване на налягането, често е необходима допълнителна енергия за подпомагане. Външната енергия може да бъде топлинна енергия, електрическа енергия, механична енергия и радиологична енергия. По този начин, грешката при измерването неизбежно се въвежда едновременно с въвеждането на приложената енергия. Следователно точността на вакуумирания измервателен уред е по-ниска от тази на другите физически измервателни уреди.