Твърдостта на DLC филма

Твърдостта на DLC филма, получен чрез метода на катодната дъга с магнитен филтър (FVCA), е подобна на тази на диамантения филм. Твърдостта на DLC филма, приготвен чрез метода на вакуумна катодна дъга (VCAD), е над HV5000. Твърдостта на DLC филма, получен чрез магнетронно разпрашване, обикновено е по-ниска от HV2000. В допълнение, процесът на отлагане и допингът също влияят върху твърдостта на DLC филма. Правилното отклонение, налягане и атмосфера могат да подобрят твърдостта на DLC филма в различна степен. Повечето експерименти показват, че допингът може да намали твърдостта на DLC филма в различна степен, но някои хора смятат, че включването на Si може да подобри твърдостта на DLC филма. DLC филмът обикновено има голямо вътрешно напрежение. Вътрешното напрежение е свързано не само със структурата и компонентите на DLC филма, но също така има голяма връзка с процеса на образуване на филма. Например при H-DLC филм вътрешното напрежение има голяма връзка със съдържанието на H. Докато се запазва високата твърдост на DLC филма, включването на N, Si и някои метални елементи може да намали вътрешното напрежение. Вътрешното напрежение значително влияе върху свойствата на свързване на DLC филма и субстрата. Когато DLC филмът се отлага директно върху субстрата, силата на свързване на филма обикновено е слаба. Колкото по-тънък е DLC филмът, толкова по-добра е силата на свързване между филма и субстрата. В допълнение, адхезията на DLC филма може да бъде подобрена чрез добавяне на преходен слой между DLC филма и субстрата. Ако Cr се използва като преходен слой, свързването между мембраната и субстрата е значително подобрено. Различните сутеренни двойки преходни слоеве се различават.

IKS PVD компания, машина за декоративно покритие, машина за покритие на инструменти, DLC машина за покритие, машина за оптично покритие, PVD линия за вакуумно покритие, проектът до ключ е наличен. Свържете се с нас сега, имейл: iks.pvd@foxmail.com