Работните принципа молекулярна помпа

Механизма за изпомпване на молекулярна помпа е различен отмеханична помпасе изпомпва от Том промяната на помпата кухина, използването на принципа на инерция прехвърляне, потока на молекулярните ориентация се изхвърля извън помпата, да се постигне целта на изпомпване.

Молекулярна вакуумна помпа е използването на високоскоростен въртящ се ротор да прехвърлите енергията на газовите молекули, така че прави компресиране и евакуация. Тя има следните видове:

Тягови молекулярна помпа:Газовите молекули и високоскоростни ротор сблъсък да получи инерция, който се изпраща до изхода, следователно, това е импулс прехвърляне помпа.

Турбо молекулярна помпа: Помпата къщи с нарезно диск или bladed ротор, който се върти между статора дискове (или статори). На надлъжни линията скорост на ротора е много висока. Този вид на помпата обикновено работи в държавата на молекулярна поток.

Комбинирани молекулярна помпа:Това е съединение молекулярна вакуумна помпа, която е серия комбинация с турбо вид и тип на сцепление.

Молекулярна помпа се върти с висока скорост при устройството на двигателя и използва честота преобразуване силата да карам мотор и целта е да получите по-висока скорост. В областта на молекулярна поток, газовите молекули се сблъскват с повърхността на острието, въртящи се с висока скорост, и инерция се предава на газовите молекули, така че частично газови молекули да генерира насочен поток на повърхността на абсолютно твърдо тяло и изгонен помпа за постигане на целите на добива на газ. Обикновено с високоскоростни движение на абсолютно твърдо тяло повърхност, за да носят газови молекули и да го преместите в определена посока се нарича явлението на молекулярната сцепление, използвайки този феномен от вакуумна помпа, наречен тягови молекулярна помпа.

Предимството на тяговите молекулярна помпа е кратък стартиране време, висока степен на сгъстяване в състояние на молекулярните поток и да премахнете всички видове газове и истерия и е особено подходящ за изпомпване на по-тежки газове. Обаче поради малки помпени скоростта на сцепление молекулярна помпа, малки запечатване клирънс, слаба надеждност на работа, лесно механична повреда и трудно производство, в действителност тя се рядко използва. По-късно е подобрено сцепление молекулярна помпа и турбо молекулярна помпа се яви.

Има няколко групи на интерфазата сцепление джанти лопатки и фиксирани колело лопатки в турбо молекулярна помпа, и има много лопатки на всяко колело, които клонят в определен ъгъл. Действителната турбо молекулярна помпа се състои от каскадни острието подреждането на няколко етапа, като ротор плоча, статор плоча, ротор плоча да последвано от променлив режим, ротативна е подобен на ефекта на електрически вентилатор острието и може да изпомпва на газ от едната страна към другата страна. Подобряване на скоростта на молекулярна помпа е от полза за подобряване на помпените скоростта на молекулярна помпа. Поради ограничаването на скоростта на завъртане на лопатките е по-трудно да помпа вакуум, ако газовите молекули се движат по-бързо.

Турбо молекулярна помпа е също механични вакуум помпа, която се изпомпва чрез комбинацията от високоскоростни въртящи се остриета за ротор на многостъпални турбини и неподвижни ножчета. Тя произвежда високо съотношение за извлечените газ в областта на молекулярна поток, с цел постигане на желаните резултати, вакуум. Крайната вакуум на турбо молекулярна помпа е по-висока от дифузия помпата, до 10-8 БКП. Нормална работа изисква определена степен на предварително вакуум. Нивото на вакуума леко варира в зависимост от помпата. Това обикновено е между 1-200pa, и механична помпа може да се използва като предния етап помпа. Поради високата скорост на турбо молекулярна помпа, обикновено се задвижва от мотор ако и ако мощност честота между 300-400 HZ.

Водно охлаждане обикновено се използва втурбо молекулярна помпа.

Theкомбинирани молекулярна помпае серия комбинация от турбо молекулярна помпа и тягови молекулярна помпа. Тя обединява предимствата на двете помпи и има голяма скорост на изпомпване и високо съотношение в налягане на широк диапазон от 10^-6~ 1pa, което значително подобрява налягане на изхода на помпата.