За изчисляване на коефициента на пречупване и коефициента на изгасяне на TiO 2 филм въз основа на метода на обвивката

За да се изчисли коефициентът на пречупване и коефициентът на изгасяне на TiO 2 филм въз основа на метода на обвивката, коефициентът на абсорбция на материала не трябва да бъде твърде голям, в противен случай това ще повлияе на крайната пропускливост на филмовия продукт и ще намали оптичните характеристики на продукта; В същото време индексът на пречупване не трябва да бъде твърде нисък, в противен случай ще бъде засегната ширината на пресечната лента. Предложен от Manifacier в 1976, методът на линия baoluo е да се изчислят параметрите на оптичния филм на филмовия слой чрез обръщане на екстремната стойност на коефициента на пропускливост (или отразяване) при оптичната дебелина на слоя филм до цели числа, кратни на лямбда / { {3}}. В действителното измерване, максималната точка T / 2 и минималната T / 4 точка на пропускливост са свързани, за да образуват две линии на обвивка, Tmax () и Tmin (). Тогава крайностите на предаване T / 2 и T / 4 при всяка дължина на вълната се получават, като се вземат точки на линията на обвивката. И накрая, коефициентът на изгасяне и коефициентът на пречупване на филмовия слой се изчисляват, като се използва екстремната стойност на пропускането, а дебелината на слоя филм се изчислява според изчислената стойност на коефициента на пречупване и дължината на вълната на крайната точка.

Процесът на измерване на метода е прост, методът може едновременно да измерва индекс на пречупване на филма, коефициент на изгаряне и дебелина на процеса на измерване, не е необходимо да се свързва с филмовите проби, защита на пробата, е идеално сравняване на всички видове методи за резултати от изпитванията на оборудването, ако се използва правилно, може да бъде начин за определяне на филма всички оптични константи. Линейният индекс на пречупване n и дебелина L на филма при дължина на вълната се изчисляват чрез метода на обвивката.

Където:

0010010 nbsp; n0 и n 1 са показателят на пречупване на въздуха и основата съответно; Tmax и Tmin са максималната и минималната пропускливост при дължина на вълната; Lambda 1, lambda 2 и n (lambda 1), n (lambda 2) съответстват на индекса на дължината на вълната и показателя на пречупване на два съседни върха или долини на предавателната способност крива, съответно. Индексът на пречупване и коефициентът на изгасяне на TiO 2 филм са изчислени с помощта на софтуер Macleod. Както се вижда от фигура (а) по-долу, спектралният диапазон е uv-видим и близък до инфрачервено, а показателят на пречупване на всички 4 проби намалява. Индексът на пречупване на образец № 1 в обхвата на 400 ~ 1 000 nm е между 2. {{15}} ~ {{4 }}. 15. Индексът на пречупване на проба № 2 и № на пробата 3 беше малко по-висок, докато този на проба № 4 беше малко по-нисък при същата дължина на вълната, варираща от {{4} } 45 на 2 15 0010010 Nbsp...;

От фигурата (б) по-горе може да се види, че проба № 1 има очевидна абсорбция и коефициентът на изчезване нараства с спектралния диапазон от uv-видим до uv-видим. Може да се знае, че ниските цени на окиси от метал Ti се получават поради недостатъчно снабдяване с кислород. Максималната пропускливост на проба № 2 беше значително подобрена, а коефициентът на изгаряне беше основно под {{{5}}. 5×10-3, които все още оказват влияние върху крайната пропускливост на спектъра. Коефициентите на изчезване на спектрите на проба № 3 и № на пробата 4 са от порядъка на 10-4 и ефектът върху крайната пропускливост на спектрите е незначителен. № 1 и № 2 коефициентът на изгасяне на пробата с дължина на вълната се увеличава, другите две основни не варират с дължина на вълната коефициентът на изчезване на пробата при условие на вакуумната степен, не . 1 и №. 2 проби с увеличаване на дължината на вълната и скоростта на предаване се намалява, съдържанието на кислород е твърде ниско, образува се метален Ti и коефициентът на изгасяне на Ti е вдясно е дължината на вълната се увеличава.

Чрез сравнението на четирите проби беше установено, че с увеличаването на потока на кислород, степента на вакуумно покритие намалява и пречупването на TiO 2 филм първо се увеличава и след това намалява. Чрез увеличаването на увеличението на кислорода след кислородните йони на източника на йонизиращи йони, ще се увеличи филмът за бомбардиране на йонната плътност, ще се направи по-плътен мембранен слой, като по този начин се подобри индексът на пречупване на филма, когато количеството на запълване на кислорода за по-нататъшно увеличаване, обаче, a сравнително ниска система на вакуумно покритие, излишък на кислородни молекули и TiO 2 мембранен молекулен сблъсък, намалиха TiO 2 мембранната молекулна кинетична енергия, така че да се направи отлагането на TiO 2 тънка филмова молекулна миграция скоростта се намалява, плътността на мембранния слой допълнително намалява показателя на пречупване на тънките филми. Ако по-малко кислород, а именно системата за вакуумно покритие, също е причина за това, че количеството кислород е по-малко, може ли 0010010 # 39; t да доставя Ti 2 O 3 е се очаква да се разгради при изпаряване загуба на съдържание на кислород в кислорода, причината за покриване на филмов състав има ниско съдържание на оксид, съдържащ титанов оксид, влияе върху оптичните свойства на тънките филми, така че изборът на подходящ флюсов кислород за TiO 2 оптичен тънък филм система за покритие е много важна.

IKS-OPT 2700 оптична машина за вакуумно покритие с E-gun，more details,contact: iks.pvd@foxmail.com