Какви са петте стъпки на реакция на CVD
Jul 20, 2020| Какви са петте стъпки на реакция на CVD?
(1) Предварителните реагенти на различни компоненти в газовата фаза влизат от основния газ и прехвърлят повърхността на субстрата чрез дифузионен механизъм. В идеалния случай концентрацията на предшественика върху субстрата е нула, което означава, че субстратът реагира незабавно, което не е така.
(2) Предварителните реагенти се адсорбират върху субстрата, а предварителните реагенти все още се оставят да извършват ограничена степен на странично движение на повърхността върху субстрата.
(3) Прекурсорите претърпяват химическа реакция върху субстрата, за да произведат химически молекули в утайката, след което, след натрупване, ядрене, миграция, растеж и други стъпки, накрая се комбинира непрекъсната мембрана.
(4) Адсорбирайте излишните прекурсори и непроменени газови продукти.
(5) Адсорбираният газ се предава в основната газова фаза чрез дифузионен механизъм и се зауства след предаване.
Компания IKS PVD, машина за декоративно покритие, машина за нанасяне на инструменти, машина за оптично покритие, PVD линия за вакуумно покритие. Свържете се с нас сега, E-mail: iks.pvd@foxmail.com