Какъв е конкретният процес на натрупване на светене в магнетрон раздаване принцип Как се йонизира ар газ
Apr 22, 2020| Какъв е конкретният процес на натрупване на светене в принципа на магнитрон раздаване? Как се йонизира ар газ?
Под действието на приложено напрежение между положителните и отрицателните електроди, газовите атоми между електродите ще бъдат йонизирани. В процеса на йонизация, някои ар атоми са йонизирани в Ar+ йони и електрони. Електроните се ускоряват към анода от електрическото поле, а положително заредените ар + йони се ускоряват към катодната цел под действието на електрическото поле и освобождават съответната енергия в сблъсъка с целевата повърхност. Един от резултатите от въздействието на йони с определена енергия върху целта е, че атомите на повърхността на целта получават определена енергия и оставят целевата повърхност да се придвижи към субстрата. В процеса на разнасяне има и други следи, включително вторични темпоеми от катод.
Това е газоразряд, а напрежението обикновено е в горните киловити. Но магнитронът е различен.
По време на магнитрон асептацията има магнитно поле на повърхността на целта, така че електроните могат да бъдат вързани около целта, без да се губят, образувайки самоподдържащ се феномен на разреждане и напрежението естествено намалява до няколко стотин волта. По време на самоподдържащия се разряд, по-голямата част от аргонната йонизация се причинява от бомбардиране на свободни електрони.
e- + Ar + 2
Ако сте интересни вида на покритие тоназа на околната среда, свържете се с нас сега,E-mail:iks.pvd@foxmail.com,повече подробности за машината за вакуумно покритиеIKS PVD технология (Шенян) Ко ООД