Анализ на способността за пренасяне на енергия от магнетронните разпръскващи цели
May 24, 2018| 1. Целева зона и обхват на мощността на натоварване
(1) Плътността на мощността на кръгла планарна магнетронна цел обикновено е 1 ~ 25w / cm2
(2) Плътността на мощността на правоъгълната планарна магнетронна цел е 1 ~ 36w / cm2
(3) Плътността на мощността на колонната магнетронна цел и коничната планарна магнетронна цел (S пистолет) обикновено е 40 ~ 50w / cm2.
2. Действителна носеща сила на целта на магнетрона
В допълнение към технологията за разпрашаване и изискванията за качеството на филма, действителната носеща мощност на целта на магнетрона също е тясно свързана с условията на охлаждане и условията на разсейване на топлината на целта.
Целите на магнетрона могат да бъдат разделени на два вида "директно водно охлаждане" и "индиректно водно охлаждане", въз основа на метода на охлаждане.
Като се има предвид остаряването на целта след дългосрочната употреба, условията на разсейване на топлината са лоши и като се вземат предвид различните коефициенти на топлопредаване на различните целеви материали, крайната мощност на натоварване на целта на магнетрона и действителната максимална мощност на целта за директно водно охлаждане може да се зададе малко по-малко от горната граница на диапазона на плътността на мощността. И действителното максимално натоварване на целта за непряко водно охлаждане може да бъде зададено около половината от горната граница на обхвата на плътността на мощността.
Когато магнетронът насочва (главно Cu, Ag, Brass и Al bronze) "саморазпръскване", той обикновено използва магнетрон за разпръскване цел, която е специално проектирана да "насочва вода-хладно". Крайната носеща мощност за използване трябва да бъде по-голяма от горната граница на обхвата на целевата плътност на мощността.