Кратко представяне на PVD покритие система Sputtering система и система за контрол
Feb 10, 2018| 
Система за разпрашаване
Системата за разпрашаване е ядрото на PVD покритието, което се състои от цели , целево захранване и специален газ. Има много видове целево захранване и те идват в няколко сорта, както по-долу:
1. Съгласно изходния режим , има DC захранване, захранване с променлив ток (синусоидална вълна, квадратна вълна), импулсно захранване и DC насложено импулсно захранване ;
2. Съгласно честотата на изхода , има DC захранване , нискочестотно захранване и средночестотно захранване ;
3. Според силата , има ниско електрозахранване, захранване със средно захранване, високо електрозахранване и свръхзахранване;
4. Съгласно режима на управление има постоянно токово захранване, постоянно захранващо напрежение и постоянно захранване.
Контролна система
Контролната система е душата на цялото устройство, контролира работата на цялата система. Контролната система се състои от софтуерна операционна система, система за събиране на данни, система за анализ на данни и изпълнителна предавателна система и т.н. Сред тях се събира системата за събиране на данни, потока (пара), вакуумното налягане, скоростта на двигателя, позицията на клапана и друга информация. Освен това, софтуерната операционна система и системата за анализ на данни са PLC при повечето обстоятелства. Освен това изпълнителната предавателна система се състои от различни релета, контактори, соленоидни клапани, ключове и др.