Електронно излъчващи излъчвателни системи

Електронни лъчи и системи за термично изпаряване. Планинските етапи или етапите на просто въртене могат да включват нагряване до температури по-големи от 950 ° C, в зависимост от размера и материала на субстрата. Източниците на йони за IBAD и предварителното почистване на субстрата могат да бъдат интегрирани и в системи. Системите за изпаряване са оборудвани с пълни помпени станции, ръчни или електропневматични клапани, всички вакуумни датчици, разпределителна кутия за електрозахранване, електронни рафтове, водни и въздушни колектори и предпазни блокировки. Системите могат да се управляват ръчно или чрез компютърно управление. Подводните нагреватели и манипулаторите могат да бъдат проектирани за нестандартни форми и размери на субстрата. Приложенията включват изследване на основни материали, SAW устройства, метализация на силиций и GaAs, MEMS или дисплейна технология и др.

Налични са много опции за системата, включително широка гама източници на електронен лъч и топлинна енергия, захранване, интегриране на източници на йонни лъчи или магнетронни разпръсквачи, RGA, UHV възможности, многофункционални брави и монитори.