Изисквания за околната среда на PVD покритие оборудване

Тъй като машината за вакуумно покриване работи под вакуумни условия, оборудването трябва да отговаря на изискванията за околната среда на вакуума.

Специфичните индустриални стандарти на вакуум машината за вакуумно покритие (включително общите технически спецификации на оборудване за вакуумно покритие, вакуумно йонно покритие , вакуумно оборудване за нанасяне на покритие и оборудване за вакуумно изпаряване) създават ясни изисквания за околната среда. Единствено отговарят на изискванията за околната среда на вакуумно покритие оборудване може да доведе до добро PVD покрития.

Изискванията за околната среда на вакуум, като цяло включват изискванията на вакуумното оборудване в околната среда на лабораторията (или сервиза), където се намира вакуумното оборудване, като температура и частици във въздуха. Както и изискването на компоненти или повърхности, изложени във вакуум или в състояние на вакуум. Тези два аспекта са тясно свързани. Качеството на заобикалящата среда пряко влияе върху нормалното използване на вакуумното оборудване и вакуумната камера или компонентите в камерата са чисти или не оказват пряко въздействие върху работата на оборудването. Ако въздухът съдържа много водни пари и прах, когато вакуумната камера не е чиста, не е подходящо да се изпомпва въздухът, който може да корозира метала, да реагира с вакуумно масло или да съдържа частици прах. Водната пара е вид кондензационен газ, когато се извлича голямо количество кондензационен газ, замърсяването на помпеното масло ще бъде по-сериозно. В резултат на това крайният вакуум на помпата ще намалее, а впоследствие ще се отслаби помпената работа на помпата.

Прахът в индустриална среда се отличава с прах, аерозол и прах. Прах означава колекция от прах или твърди частици. Аерозолът е материална система, която плува във въздуха под формата на твърди или течни молекули. Независимо дали материалът е твърд или течен, всички частици могат колективно да се посочат като прахови частици. Стандартът на чистотата на въздуха се определя от размера на праховите частици и след това се настройва нивото на чистата стая.

Нормалните условия на оборудването за вакуумно покритие включват:

1. Температура на околната среда: 10 ~ 30 ℃

2. Относителна влажност ≤ 70%

3. Входящата температура на охлаждащата вода не е по-висока от 25 ° C

4. Охлаждащата вода е градска чешмяна вода или сходна вода.

5. Захранващото напрежение е 380V, трифазната е 50Hz или 220V, монофазната е 50Hz (определя се от изискването за работещи електрически уреди), диапазонът на напрежението е 342V ~ 399V или 198V ~ 231V, честотата на колебание е 49 ~ 51Hz ,

6. Необходимото налягане на сгъстен въздух, течен азот, топла и студена вода, температура и консумация на оборудване трябва да се посочат в ръководството за продукта.

7. Околната среда трябва да бъде чиста и подредена, въздухът да не съдържа прах или газ, които могат да причинят корозия на повърхността на електрически уреди и други метални части или да причинят електрическа проводимост на метални части.

Освен това, лабораторията или работилницата, в която се намира вакуумното оборудване, трябва да бъде чиста с теракот или дървен под. За да се предотврати замърсяването на околната среда от изпусканата от механичната помпа газ, изпускателната тръба (метална и гумена тръба) трябва да бъде монтирана на изпускателния отвор на помпата, за да изтече газта от помещението.