Общи познания за вакуумната помпа
Mar 13, 2019| Общи познания за вакуумната помпа
1. Методът за получаване на вакуум
Оборудването, което може да изпуска газ от затворения контейнер или да намалява броя на газовите молекули в контейнера, се нарича вакуумно оборудване или вакуумна помпа. Понастоящем във вакуумната технология са използвани различни методи за получаване и измерване на налягания в диапазона от 105Pa до 10-13pa, до 18 порядъка. Очевидно е, че е много трудно да се получи газовото състояние в такова широко пространство с ниско налягане само с един вид вакуумна помпа.
В технологията на придобиване на вакуум има два начина за получаване на вакуума в момента. Единият е да се освободи газът директно от затворения контейнер чрез движението на определен механизъм. Другата е да адсорбира или кондензира газовите молекули върху нискотемпературната повърхност чрез физични и химични методи. Съществуват много видове вакуумни помпи, произведени по тези два метода, а методите за класификация са различни. Най-често използваният метод е да се класифицират вакуумните помпи според техните принципи на работа или структурни характеристики. Това ще бъде разгледано в следващия раздел.
2. Класификация на вакуумните помпи
В съответствие с принципа на работа на вакуумна помпа, вакуумна помпа може да бъде разделена на два типа, а именно: помпа за пренос на газ и помпа за улавяне на газ. Като вакуумна технология в областта на производството и научните изследвания на изискванията на обхвата на прилагане на налягането е все по - широко, най - вече се нуждае от няколко общи след изваждане на вакуумна помпа вакуумна система може да отговаря на изискванията на производството и науката изследователски процес, така че изберете различни видове вакуумна помпа във вакуумната помпа. За удобство е необходимо тези помпи да се класифицират подробно в съответствие с техните принципи на работа или с техните структурни характеристики. Той е описан както следва:
(1) Помпа за пренос на газ
Газовата помпа е вид вакуумна помпа, която може да направи газът непрекъснато вдишван и разреждан, така че да се постигне целта на изпомпване. По принцип съществуват два вида тази помпа:
1) вакуумна помпа с променлив обем
Вакуумна помпа с променлив капацитет е вид вакуумна помпа, която използва периодичната промяна на обема на камерата на помпата, за да завърши процеса на всмукване и изпускане. Газът се компресира преди да бъде изхвърлен. Тази помпа се разделя на бутални и ротационни два вида:
(1) бутална вакуумна помпа: използването на помпи, бутални бутални движения, вдишване на газ, компресия и навън. Следователно, известен също като бутална вакуумна помпа.
Ротационната вакуумна помпа: е използването на буталото на камерата на помпата за въртене на движението, вдишване на газ, компресия и навън. Ротационната вакуумна помпа има следните типове:
уплътнител вакуумна помпа: това е използването на уплътнение между движещите се части на разликата, намаляване на вредното пространство на ротационна помпа с променлив капацитет. Тази помпа обикновено е оборудвана с въздушно баласт устройство, също така е известен като въздушна баласт вакуумна помпа. Според неговите структурни характеристики са разделени на следните пет вида.
A) ротационна вакуумна помпа: ротор с определен ексцентричност, монтиран в корпуса на помпата и корпуса на помпата върху повърхността на неподвижната повърхност в близост до роторния слот, оборудван с две (или повече) ротационни лопатки, когато роторът се върти с въртяща се лопатка. Посредством радиалния слот, който се плъзга назад и контактува със стената на корпуса на помпата винаги, въртящата се перка с ротация на ротора, кухината на помпата може да бъде разделена на няколко променливи.
B) вакуумна помпа с плъзгащ се клапан: външният вентил е монтиран извън ексцентричния ротор. Роторът се върти, за да задвижва плъзгащия се клапан да се плъзга и да се търкаля по вътрешната стена на корпуса на помпата. Стълбът на плъзгащия клапан в горната част на плъзгащия вентил може да се плъзга в направляващия плъзгащ се плъзгащ клапан и камерата на помпата е разделена на два променливи обема.
В) вакуумна помпа за лопатки на статора: в корпуса на помпата е монтиран ексцентричен ротор, който е близо до вътрешната повърхност на помпата, а на корпуса на помпата е монтиран радиален плъзгащ се лопат, който винаги е в контакт с повърхността на ротора. Когато роторът се върти, плъзгачът може да се движи нагоре и надолу, за да раздели камерата на помпата на две променливи обеми.
D) трохоидална вакуумна помпа: ексцентрично оборудвана с трохоидален ротор в камерата на помпата, тя се върти по вътрешната стена на камерата на помпата и разделя камерата на помпата на две променливи обеми.
Д) многокамерна ротационна вакуумна помпа: многобройни ротационни вакуумни помпи, задвижвани от един и същ двигател, са разположени паралелно в корпуса на помпата.
(2) Суха вакуумна помпа: тя е немаслена (или течна) запечатана вакуумна помпа с променлив обем.
(3) течна пръстен вакуумна помпа: с много лопатки на ротора ексцентричен монтирани в корпуса на помпата, когато се върти, течност (обикновено вода или масло) в помпата на корпуса на концентрична течност пръстен, течен пръстен и ротор на острието на няколко малки промяната на обема на обема, също така се нарича въртяща вакуум помпа с променлив капацитет.
(4) коремна вакуумна помпа: помпа, оборудвана с две противоположни посоки на синхронно въртене на двойно острие форма или многоточково оформен ротор, между ротора, ротора и стената на корпуса на помпата се поддържат между определен отвор. Принадлежи към ротационна вакуумна помпа. Механичната бустер помпа е този тип вакуумна помпа.
2) помпа за предаване на инерция
Помпата разчита на високоскоростни въртящи се лопатки или високоскоростни струи, за да предава инерция на газовите или газовите молекули, така че газът непрекъснато от входа на помпата до изхода. Специфичните могат да бъдат разделени на следните типове.
(1) молекулярна вакуумна помпа: това е използването на високоскоростни въртящи се ротори за предаване на енергия на молекулите на газ, така че компресия, изпускане на вакуумна помпа. Той се предлага в следните типове:
Тягова молекулярна помпа: газови молекули и високоскоростно движение на сблъсъка на ротора и набирането на импулс, изпратено на износа, следователно, е един вид помпа за трансфер на инерция.
(2) турбинна молекулна помпа: помпа с жлеб диск или ротор с острие, то в ротационен диск на статора (или статора). Линейната скорост на обиколката на ротора е много висока. Помпата нормално работи в състояние на молекулния поток.
(3) съединение молекулна помпа: тя е чрез турбина и тип с две молекулярни помпи серия комбинация от съединение молекулярна вакуумна помпа.
Струйната вакуумна помпа: това е един вид помпа за трансфер на инерция, която се възползва от спада на налягането на Вентури, за да произведе високоскоростна струя за транспортиране на газ до изхода, подходяща за работа във вискозен поток и състояние на преходен поток. Тази помпа може да бъде разделена на следните детайли:
Вакуумна помпа за впръскване на течности: към течност (обикновено вода) като работна среда на инжекционната вакуумна помпа.
(2) вакуумна помпа за впръскване на газ: газ, който не се кондензира като работна среда на инжекционната вакуумна помпа.
(3) вакуумна помпа за впръскване на пара: за пара (вода, масло или живак и друга пара) като работна среда на инжекционната вакуумна помпа.
Дифузионната помпа е високоскоростен поток с ниско налягане (масло или живачни пари) като работна среда на вакуумната помпа. Молекулите на газа дифузират в парния поток и се изпращат към изхода. Молекулната плътност на газа винаги е много ниска в струята. Може да се раздели на:
(1) самопречистваща дифузионна помпа: изпомпване на летливи примеси чрез специална механична трансмисия към износа, а не обратно към котела в маслена дифузионна помпа.
(2) дифузионна помпа тип фракциониране: тази помпа има устройство за фракциониране, така че налягането на парата е ниско работеща течна пара в работната дюза с висок вакуум, а налягането на парата е високо работеща течна пара в работната дюза с нисък вакуум, многостъпална маслена дифузионна помпа.
Дифузионна струйна помпа: това е помпа за трансфер на инерция, състояща се от едноетапна или многостепенна дюза с характеристики на дифузионната помпа и едноетапна или многостепенна дюза с характеристики на вакуумна помпа в серия. Нагнетателната помпа за масло е от този тип.
Йонна трансферна помпа: това е помпа за трансфер на инерция, която прехвърля йонизиран газ към изхода под действието на електромагнитно поле или електрическо поле.
2. Газова помпа
Тази помпа е адсорбция на газ молекули или кондензация на вътрешната повърхност на помпата, като по този начин се намалява броят на газовите молекули в контейнера, за да се постигне целта на изпомпване на вакуумна помпа, има следните видове.
1) адсорбционна помпа
Тя се основава главно на голямата повърхност на адсорбента (като порест материал) на физическата адсорбция за изпомпване на тип колекторна вакуумна помпа.
2) поглъщаща помпа
Това е вакуумна помпа, която използва getter за улавяне на газ чрез химична комбинация. Метал или сплав, обикновено под формата на бучка или нанесен свеж филм. Сублимационната помпа е от този тип.
3) поглъщаща йонна помпа
Това е да се направи йонизиран газ чрез действието на електромагнитно поле или адсорбция на електрическото поле на повърхността на материала, за да се постигне целта на изпомпване на газ. Той се предлага в няколко форми, както следва.
Изпарителна йонна помпа: вакуумна помпа, в която йонизиран газ се адсорбира върху всмукателен материал, който се сублимира (или изпарява) по прекъснат или непрекъснат начин и се покрива от вътрешната стена на помпата за постигане на засмукване.
Разпрашващата йонна помпа: помпата се адсорбира от йонизиран газ чрез непрекъснато разпръскване на катода от материала за получаване, за да се постигне целта на вакуумна помпа.
Помпа с ниска температура
Вакуумна помпа, която използва повърхност с ниска температура за улавяне на газ
3. Параметри и обхват на използване на вакуумната помпа
Работни параметри на вакуумна помпа
1) максимално налягане на вакуумна помпа
Крайната единица на налягането на помпата е Pa, което се отнася до най-ниското стабилно налягане, когато помпата е оборудвана със стандартен тестов капак на входа и работи при определени условия без въвеждане на газ за нормална работа.
2) скоростта на извличане на вакуумната помпа
Единицата на нагнетяване на помпата е m3 / s или l / s, което се отнася до съотношението на газовия поток през изпитвателното покритие и равновесното налягане, измерено в определеното положение на изпитвателния капак, когато помпата е оборудвана със стандартна помпа. тестово покритие и работи при определени условия. Скорост на помпата.
3) капацитетът за екстракция на вакуумната помпа
Единицата за извличане на вакуумната помпа е Pa m3 / s или Pa l / s. Отнася се за потока на входа на помпата.
4) начално налягане на вакуумна помпа
Единицата на началното налягане на вакуумната помпа е Pa, което се отнася до налягането, когато помпата се стартира без повреда и има ефект на изпомпване.
5) предварителен натиск на помпата
Вакуумната помпа под налягане е Pa, тя се отнася до налягането на отработилите газове по-малко от една атмосфера на изходното налягане на вакуумната помпа.
6) максимален предварителен натиск на вакуумната помпа
Максималната единица за предварително налягане на порта за вакуумна помпа е Pa, което се отнася до налягането, което превишава предварително налягането, което може да повреди помпата.
7) максимално работно налягане на вакуумна помпа
Максималното работно налягане на вакуумна помпа е Pa, което се отнася за входното налягане, съответстващо на максималното количество изпомпвано въздух. При това налягане помпата може да продължи да работи без влошаване или повреда.
8) коефициент на компресия
Степента на сгъстяване е съотношението на изходното налягане на помпата към входното налягане за даден газ.
9) коефициентът на ho
Съотношението на действителната скорост на изпомпване върху площта на помпения канал към теоретичната скорост на изпомпване, изчислена на базата на молекулярния излив.
10) коефициент на скорост на изпомпване
Съотношението на действителната скорост на изпомпване на помпата към теоретичната скорост на изпомпване, изчислена чрез молекулярната ефузия на входа на помпата.
11) процент на рефлукс
Единицата на кипене на помпата е g / cm2. Трябва да се посочи кога помпата работи в съответствие с формулировката, масовият дебит, който преминава в зоната на входа на помпата.
12) допустимо количество на водните пари
Допустимата единица водна пара е kg / h, което се отнася до масовия поток от водни пари, който може да бъде отстранен от въздушната баластна помпа по време на непрекъсната работа при нормални условия.
13) максимално допустимо налягане на входа на парите
Максимално допустимата единица на входното налягане на парите е Pa. Тя се отнася до максималното входно налягане на водните пари, което може да бъде отстранено от баластната помпа по време на непрекъсната работа при нормални условия на околната среда.
4. Обхват на използване на вакуумна помпа
Тъй като всички видове вакуумни помпи имат различен диапазон на работно налягане и начално налягане, изборът на вакуумна помпа трябва да отговаря на тези изисквания. Таблица 3-1 показва обхвата на работното налягане и началното налягане на различни общи вакуумни помпи за справка.
Таблица 3-1 Обхват на работното налягане и начално налягане на общите вакуумни помпи
Тип вакуумна помпа | Обхват на работното налягане (Pa) | Начално налягане (Pa) |
Бутална вакуумна помпа Ротационна лопатка към акумулационна помпа Водна пръстен вакуумна помпа Вакуумна помпа Roots Турбомолекулярна помпа Паралелна струйна помпа Маслена дифузионна помпа Помпа за струя с маслена пара Молекулна сито адсорбционна помпа Разпрашваща йонна помпа Титанова сублимационна помпа Циркониева алуминиева помпа Помпа с ниска температура | 1 × 10 5 - 1,3 × 10 2 1 х 105 - 6.7 х 10 -1 1 × 10 5 - 2,7 × 10 3 1.3 × 10 3 - 1.3 1 .3 - 1.3 × 10 -5 1 × 10 5 - 1.3 × 10 -1 1.3 × 10 -2 - 1.3 × 10 -7 1.3 × 10 - 1.3 × 10- 2 1 × 10 5 - 1.3 × 10 -1 1.3 × 10 -3 - 1.3 × 10 -9 1.3 × 10 -2 - 1.3 × 10 -9 1,3 × 10 - 1,3 × 10 -11 1.3 - 1.3 × 10 -11
| 1 × 10 5 1 × 10 5 1 × 10 5 1.3 × 10 3 1.3 1 × 10 5 1.3 × 10 <> × 10 5 1 × 10 5 6.7 х 10 -1 1,3 × 10 -2 1.3 × 10 1.3 - 1.3 × 10 -1
|
5. Задачата на вакуумната помпа във вакуумната система
Тъй като изпълнението на всички видове вакуумни помпи може да отговаря на общата точка на вакуумиране на контейнера, все още има разлики. Ето защо е много важно да се изяснят работните задачи на помпата във вакуумната система. Функциите на помпата в различни работни области могат да бъдат обобщени по следния начин
1) основна помпа в системата
Така наречената главна помпа е вакуумната помпа, която директно вакуумира вакуумната система, която се изпомпва от съда, за да се получи степента на вакуум, необходима за изпълнение на технологичните изисквания.
2) груба помпа за изпомпване
Суровата помпа се отнася до вакуумната система от атмосферното налягане за намаляване на налягането на друга помпена система може да започне работа вакуумна помпа.
3) предна помпа
Помпата на предния етап е вакуумна помпа, използвана за поддържане на налягането на предния етап на друга помпа под максимално допустимото налягане
4) помпа за поддръжка
Поддръжка на помпа се отнася до вакуумната система за изпомпване е много малка, не може да се използва ефективно на главната помпа. За тази цел във вакуумната система с по-малка скорост на изпомпване на допълнителната предна помпа за поддържане на нормалната работа на главната помпа или за поддържане на вакуумната помпа е необходим нисък натиск.
5) груба вакуумна помпа или вакуумна помпа
Груба и ниско вакуумна помпа се отнася до вакуумната помпа, работеща в ниския вакуум или груб вакуум диапазон след започване на работа от атмосферата и намаляване на налягането на изпомпвания контейнер.
6) помпа с висок вакуум
Висока вакуумна помпа се отнася за вакуумната помпа, работеща в диапазон на висок вакуум.
7) ултра висока вакуумна помпа
Свръхвисоката вакуумна помпа се отнася за вакуумната помпа, работеща в свръхвисокия вакуум.
8) нагнетателна помпа
Нагнетателната помпа обикновено се отнася до работата между помпата с ниска вакуумна помпа и високата вакуумна помпа, за да се подобри помпената система в средния обхват на налягането или да се намали скоростта на изпомпване на изискванията на вакуумната помпа на предната стена.
6. Вакуумни помпени модели и спецификации на метода на представяне
Според машиностроителния стандарт JB / t7673-95 на Китайската народна република, различни домашни вакуумни помпи са съставени от две части: основен тип и спомагателен тип, с хоризонтална линия между тях. Моделът на изразяване е 123-456. Числото 123 показва основния модел, а 456 - спомагателния модел.
Моделите за домашни вакуумни помпи обикновено са представени от китайската фонетична азбука в таблица 3-2. Ако пинин буквата пред думата "2", това означава, че помпата в структурата на двустепенна помпа.
Някои серии от вакуумни помпи имат геометрична степен на извличане. Единиците са L / S. Има 18 степени, 0.2, 0.5, 1, 2, 4, 8, 15, 30, 70, 150, 300, 600, 1200, 2500, 5000, 10000, 2000, 40000. Поредицата от вакуумни помпи понякога се изразява по отношение на размери на входа на помпата в "mm". Тъй като повече видове помпи, изборът трябва да се отнася до различните производители на продуктови спецификации, е много важно.
Таблица 3-2 Китайски кодове за пинин и имена на често използвани вакуумни помпи
код | име | код | име |
W | бутална помпа | Z | Маслена дифузионна струйна помпа (маслена помпа) |
д | въртяща се бутална вакуумна помпа | С | сублимационна помпа |
х | вакуумна помпа с плъзгаща се лопатка | LF | Комбинирана йонна помпа |
Н | · Ротационна бутална вакуумна помпа | GL | Циркониева алуминиева помпа |
ZJ | Вакуумна помпа Roots (механична нагнетателна помпа) | DZ | · хладилен криопомпа
|
YZ | вакуумна помпа | ГД | Инфузионна криогенна помпа |
L | йонна помпа | АКО | · молекулярно сито адсорбционна помпа |
XD | Едностъпална многоканална вакуумна помпа с лопатка | SZ | помпа с воден пръстен |
F | молекулярна помпа | PS | помпа с водна струя |
K | Маслена дифузионна вакуумна помпа | P | помпена ежекторна помпа |
IKS PVD, ние имаме професионален екип за проектиране на вакуумна помпа оформление на PVD машина вакуумно покритие, свържете се с нас сега, iks.pvd @ foxmail.com