Влияние на параметрите на процеса на магнетронно разпрашване: Разстояние между целта и основата
Sep 04, 2024| Влияние на параметрите на процеса на магнетронно разпрашване: разстояние мишена-база
Химическият състав и структурата на (Cr, Ti, Al) N кватернерното покритие могат да бъдат регулирани чрез промяна на разстоянието между целта и субстрата и могат да бъдат засегнати различните свойства на покритието. Jin Jie и др. използва технология за неравновесно магнетронно разпръскване в затворено поле за нанасяне на (Cr, Ti, Al) N покрития върху стоманена матрица H13 и изследва и анализира дебелината, състава и свойствата на (Cr, Ti, Al) N кватернерни покрития под различни целеви базови разстояния (80~180 mm) [61]. Експерименталните резултати показват, че с увеличаването на разстоянието цел-база, интензитетът на магнитното поле ще намалее бързо и плътността на йонния ток също ще намалее, което ще доведе до намаляване на скоростта на отлагане и дебелината на покритието. В допълнение, с увеличаването на разстоянието между целта и основата, съдържанието на метални елементи в (Cr, Ti, Al) N покритията непрекъснато намалява, докато съдържанието на азотни елементи нараства непрекъснато. Микротвърдостта на повърхността на покритието и силата на свързване на филма се увеличават първо и след това намаляват. Въпреки това обемът на износване и скоростта на износване на покритието първо намаляват и след това се увеличават, тоест устойчивостта на износване на покритието първо се увеличава и след това намалява. Това е така, защото твърдостта и силата на свързване на покритието имат важно влияние върху неговите свойства на триене и износване. Колкото по-ниска е силата на свързване на основата на филма, толкова по-вероятно е покритието да се напука и разслои по време на триене, като по този начин се намали износоустойчивостта на покритието.
IKS PVD компания, машина за декоративно покритие, машина за покритие на инструменти, DLC машина за покритие, машина за оптично покритие, PVD линия за вакуумно покритие, проектът до ключ е наличен. Свържете се с нас сега, имейл: iks.pvd@foxmail.com