Поддръжка на оборудване за вакуумно покритие след продължителна работа

1. Напълнете оборудването с атмосфера, свалете свързващата вода и извадете дюзата на първия етап. След това почистете камерата на помпата и помпата с бензин и я измийте с препарат. След като водата се изпари, монтирайте цилиндровия блок, отново инжектирайте новото масло с дифузионна помпа и го поставете обратно в устройството. И тогава можете да го рестартирате.

2. Когато вакуумното оборудване се рестартира, трябва да се обърне специално внимание на работата за откриване на течове. Първо, наблюдавайте дали степента на вакуум на дифузната помпа достига 6x10PA, ако не, трябва да се извърши детекция на течове.

3. Проверете дали съединението има уплътнения с О-пръстени или дали тюлените са смазани.

4. Само оборудването може да се загрее, след като се избегнат опасностите от изтичане. В противен случай маслото на дифузната помпа ще бъде изгорено и не може да работи.

5. След като помпите на вакуумната помпена апаратура работят непрекъснато в продължение на един месец, трябва да замени новото масло, което означава напълно изхвърляне на старото масло от помпата и след това замяна на известно количество ново масло в помпата. След повече от шест месеца непрекъсната употреба, масленият капак трябва да се отвори при смяна на маслото на вакуумната помпа и мръсотията в кутията трябва да се избърсва с кърпа.