Метод за разпрашаване на алуминиеви филми

Метод за разпрашаване на отлагания на сплавни филми

За да се намали броят на мишените, използвани в разпръскващата система, тънкослойните слоеве от сплав, които отговарят на изискванията за състав и ефективност, могат да бъдат получени чрез разпрашаване на отлагания с една цел, доколкото е възможно, като целта на сплавта, композитната цел на мозайката и мултимедията - целенасочено разпрашаване.

Общо казано, в стабилно състояние на разтоварване, според състава на мишената, всички видове съставни атоми са подложени на ефекта на разпрашаване, разпрашаващото покритие превъзхожда вакуумното изпарение и йонното покритие в това: съставът на филма и целевите компоненти са по-малко различни, а компонентите на покритието са стабилни. В някои случаи обаче, поради избора на разпръскващо явление от различни компоненти, скоростта на разпрашаване на филма и адхезията са различни, което ще причини филмовите и целевите компоненти да имат с големи различия.Използването на тази сплав цел, за да се направи филм с някои компоненти, в допълнение към приготвяне на целта с конкретно съотношение според експеримента и намаляване на температурата на целта, доколкото е възможно, температурата на основата също може да бъде намалена за да се намали разликата в степента на сцепление, и подходящи условия на процеса могат да бъдат избрани за намаляване на анти-sputtering ефект върху филма la доколкото е възможно.

В някои случаи не е лесно да се приготвят големи площи с еднакви цели на сплав и съставни мишени. В този случай могат да се приемат композитни мозаечни цели, съставени от отделни елементи. Съставът на таргетната повърхност е показан на фигура 1. Вентилираната мозаечна структура, показана на фиг. D има най-добър ефект и е лесно да се контролира съставът на филма и има добра повторяемост. По принцип, по този метод могат да се приготвят не само бинарни сплави, но и трикомпонентни и четвъртични сплави.

Фигура 1 - съставни мишени с различни структури

а) блок с мозайка от блок; б) кръгла мишена на мозайка; в) малка квадратна мишена на мозайка; г) мозаечна мишена с форма на вентилатор

За да се получи съответното разпределение на компонентите в разпръскващия филм, мозаечната мишена, както е показано на фигура 2, може да се използва. На фигурата, съставна мишена от А1 материал се пробива в областта на ецване на мишена от Ti матрица, за да се получи филм от Ti Al N сплав или сложен филм. От фигурата може да се види, че съставът на филма е различен при различни позиции на субстрата. Позицията и количеството на алкалния материал съответстват на състава на сплавта, така че с този метод е много удобно да се правят филми от различни компоненти.

Фигура 2 Ti-Al Mosaic композитна мишена

Структурата на многоцелевото разпрашаване е показана на фигура 3. Съединителните филми могат да бъдат получени чрез въртене на субстрата над две или повече цели и контролиране на дебелината на отлагане на всеки филм, за да бъде един или повече атомни слоеве. Например, InSb и GaSb мишени са използвани за производството на in-xgax Sb монокристални филми. Въпреки че това устройство е по-сложно, мембраната на всеки компонент може да бъде получена чрез контролиране на скоростта на въртене на субстрата и промяна на напрежението, приложено върху всяка мишена. Чрез контролиране на тези параметри, съставът на филма може да бъде променен по посока на дебелината на филма, и може да бъде получена структурата на суперрешетката.

Фиг. Фигура 3 - схематична диаграма на многоцелевата разпрашваща структура

Когато съставът на сплавния филм варира значително, обикновено се използва помощният катоден метод. Главната катодна мишена е направена от основния компонент на сплавта, а помощната катодна мишена е направена от добавения компонент на сплавта. На всяка мишена се извършва едновременно разпрашаване, за да се образува филм от сплав. Чрез регулиране на тока на помощната катодна мишена, количеството на добавените компоненти в сплавния филм може да се променя по желание .

IKS PVD, система за нанасяне на покритие от разпрашване, свържете се с нас сега, iks.pvd @ foxmail.com