Често срещани проблеми с оборудването PECVD-Налягането в реакционната камера е нестабилно

Често срещани проблеми с оборудването PECVD-Налягането в реакционната камера е нестабилно

(1) Проверете дали силфонът на вакуумната система на оборудването има пукнатини.

(2) Проверете дали разходомерът на газ е нормален.

(3) Проверете ръчно дали превключвателят на дроселната клапа е нормален.

(4) Вакуумната помпа е ненормална и вакуумният манометър се използва за измерване дали скоростта на изпомпване на вакуумната помпа е нормална.

IKS PVD компания, машина за декоративно покритие, машина за покритие на инструменти, DLC машина за покритие, машина за оптично покритие, PVD линия за вакуумно покритие, проектът до ключ е наличен. Свържете се с нас сега, имейл: iks.pvd@foxmail.com