PECVD-температура на субстрата

Влиянието на температурата на субстрата върху качеството на филма се крие главно в локалната плътност на състоянието, подвижността на електроните и оптичните свойства на филма. Повишаването на температурата на субстрата е от полза за компенсирането на суспензионната връзка на повърхността на филма и плътността на дефектите на филма намалява.

Температурата на субстрата има малък ефект върху скоростта на отлагане, но голям ефект върху качеството на филма. Колкото по-висока е температурата, толкова по-голяма е плътността на филма за отлагане, толкова по-високата температура подобрява повърхностната реакция и подобрява състава на филма.

IKS PVD компания, машина за декоративно покритие, машина за покритие на инструменти, DLC машина за покритие, машина за оптично покритие, PVD линия за вакуумно покритие, проектът до ключ е наличен. Свържете се с нас сега, имейл: iks.pvd@foxmail.com