Проблеми и решения на DLC покритие
Mar 20, 2018| Свойства на DLC покритие
Изпълнението на DLC е между диамант и графит, който показва висока твърдост и отлични фрикционни, както извор както добри незалепващи свойства.
◆ Механични свойства:
Висока твърдост, еластичност модул, висока топлопроводимост, коефициент на ниско топлинно разширение, ниска плътност, отлична износоустойчивост и коефициент на ниско триене.
◆ Електрическите свойства:
Ниска електронно сродство, високо електрическо съпротивление, ниска диелектрична константа
◆ Оптични свойства:
Висока пропускливост в видимата светлина и инфрачервения региони, ниска оптични лента празнина, рефракция е 1.7 до 2.4, високо лазерни щети праг.
◆ Химични свойства:
Добра биосъвместимост, ултра-висока химична инертност, устойчивост на киселина и алкални, добър хидрофобност.
Проблеми и решения на DLC покритие
Проблеми
◆ Високо вътрешно напрежение
При нормални обстоятелства, вътрешно напрежение, еластични якост и твърдост на покритието са пряко пропорционално на всеки друг, така че по-висока твърдост на покритието, толкова по-голямо вътрешно напрежение. DLC филм има много висока твърдост, както и високо вътрешно напрежение, което прави адхезия на DLC филм на субстрата намалява, и също така, това ограничава максималната дебелина на стабилна филм, който могат да бъдат депозирани върху субстрата. В допълнение уеднаквяване на дебелината на филма също има ефект върху вътрешно напрежение.
◆ Бедните термична стабилност
DLC е обикновено метастабилна фаза-кристална структура. Следователно, по време на температурата Пришка, DLC покритие ще бъде Графитирани, тоест, sp3 Бонд се обръщат към sp2 Бонд, като резултат, структурата и изпълнението на DLC покритие ще бъде променен.
Решения
◆ Многослойни филм
Отлагането на многослойни филми Ti/TiC/DLC и Ti/калай/TiCN/DLC на субстрата може значително да намали вътрешно напрежение между DLC покритие и субстрата.
◆ Градиент филм
Депозит градиент преходни слоеве Cr/CrN/CrNC/КРС/Cr-DLC и Ti/калай/TiCN/TiC/Ti-DLC от йонен източник и разпрашване отлагане технология върху субстрата може ефективно освобождаване на стреса и ефективно подобряване на здравината на връзката между покритието и субстрата.
◆ Допинг
Допинг на неметални (N, B, Si) могат да намалят вътрешно напрежение на DLC покритие и подобряване на неговата топлинна стабилност. И допинг от метал (Cr, Ti, W) може да подобряване на твърдост и износоустойчивост на DLC покритие и намаляване на своя коефициент на триене.