Избор и функциониране на резервоар за газ и поддържаща помпа

Благодарение на продължителното време за стартиране на дифузната помпа и помпата за маслото в периодично задвижваното оборудване при товарене и разтоварване, за да се съкрати продължителността на работа без да се прекъсне силата на дифузната помпа и помпата , клапата с висок вакуум е вентилът за предварително тръбопровода е затворен, за да направи основната помпа в нормална експлоатация. Тъй като вентилът винаги има много малко количество изтичане на въздух и повърхностна дефлация, налягането в изхода на главната помпа ще се увеличи за определен период от време. Ако надвишава максималното налягане на изхода на главната помпа и се връща към помпата, маслената пара се окислява.

За да се реши този проблем, един подход е да се използва помпата за поддържане на помпата, за да продължи изпомпването на изпускателния газ на главната помпа, но в този момент количеството на отделения газ от главната помпа е много малко и има явление, че поддържащата помпа е прекалено квалифицирана и изхвърля много енергия. Така може да се използва друг метод, да се спре работата на подпомагащата помпа, да се затвори вентилът на предната линия и да се постави помпа за поддръжка или резервоар за газ на изхода на главната помпа, което да гарантира, че газът в главната помпа може да бъде заредена и спестена енергия. Газовите резервоари не могат да бъдат прекалено големи, могат да се използват само на малки системи, които използват дифузионната помпа като основна помпа, докато помпата за задържане може да се използва на голяма система от големи помпи. Друга функция на резервоара за съхранение на газ е, че някои по-малки уреди за прилагане не позволяват вибрации в процеса, т.е. поддържащата помпа трябва да бъде спряна по време на процеса, по това време газовият резервоар се използва за съхраняване на газ, изпускан от главната помпа гарантира качеството на обработения детайл по време на процеса.

Изчисляването на обема на резервоара за съхранение на газ за антивибрационни цели се основава на факта, че газът, изпуснат от вакуумната камера чрез дифузионната помпа, е напълно изхвърлен в резервоара за газ, което води до увеличаване на налягането в резервоара без повече от максималното отработено налягане на изхода на дифузната помпа.

Обемът на резервоара за съхранение на газ с цел икономия на енергия и съкращаване на работния период се изчислява въз основа на следните съображения: Когато спирачната помпа спира да работи и дифузната помпа все още е в нормална експлоатация, дифузната помпа изпуска газта газов резервоар. Газовият източник в този момент е скоростта на теч на потока между клапата с висок вакуум на входа на дифузионната помпа и предния вентил на изхода на дифузната помпа и дефлационния поток на повърхността в интервала. Този поток води до увеличаване на налягането на изхода на дифузионната помпа, но не може да надвишава максималното налягане на изпускане на дифузната помпа.

Целта на използването на помпата за поддръжка е да пестите енергия. Той е разположен на изхода на помпата за изтичане на маслени пари, обикновено паралелно с механичната помпа в предходни етапи. Това е същият тип помпа като поддържащата помпа. Опитът показа, че поддържането на скоростта на изпомпване на помпата може да бъде една десета от помпената скорост на подпомагащата помпа. Използването на помпа за поддръжка може да спести голяма енергия и да намали шума в околната среда.