Структура и схематична диаграма на молекулярна помпа

Основните компоненти на молекулярната помпа са въртящи се остриета и стационарни остриета (Фигура 1). Скоростта на въртене на въртящия се нож достига 1800 до 90000 оборота в минута, скоростта на върха на ножа достига няколко стотин метра в секунда, което е близко до средната скорост на молекулата. И газовите молекули се транспортират до изпускателния отвор чрез сблъсък с него. Когато ротационното острие, което е настроено да бъде подложено на въртене при висока скорост, вероятността молекулите на газа да се движат от страната на засмукване към страната на изгорелите газове е А и вероятността газовите молекули да се придвижат от страната на отработилите газове към страната на засмукване е Б. Въртящият се нож удря газовите молекули, а след това молекулите на газа удрят фиксираното острие и летят до следващото въртящо се ножче, накрая молекулата на газа се изтласква към изпускателния отвор, като A> B за постигане на функцията на изгорелите газове.

Изпускателна скорост на молекулярна помпа = отворена площ на всмукателната страна × 11,6 × A / Bp

Във формула p се отнася до увеличението на стойността на налягането.

Колкото по-голям е ъгълът на лопатката, толкова по-голяма е скоростта на отработилите газове, по-малка от коефициента на сгъстяване. Ако ъгълът на лопатката е малък, скоростта на отработилите газове е ниска и съотношението на сгъстяване е голямо. Скоростта на изпускане на молекулярната помпа почти не се влияе от типа газ, а крайното налягане на помпата може да бъде 10-8 Ра, но скоростта на отработените газове ще бъде намалена за леките молекули / атоми.

Като вид механична помпа с висока скорост на въртене, молекулярната помпа изисква висок баланс и е много крехка за твърди чужди тела. Така че обикновено в него е поставен метален филтър. Когато молекулната помпа работи, лопатките могат да се повредят, ако налягането внезапно се влоши.

Фигура 1 Структура и схематична диаграма на молекулярна помпа

Конвенционалните молекулярни помпи използват лагери, за да осигурят висока скорост на въртене на лопатките. Но новата молекулярна помпа приема магнитна левитационна структура, която прави непрекъснато увеличаване на скоростта на острието, а в същото време молекулярната помпа е по-подходяща за ултрависока вакуумна система, също така удължава експлоатационния живот на молекулярна помпа.

В сравнение с маслените ротационни помпени помпи и сухи помпи тип турбо, молекулярните помпи имат по-чиста работна среда и могат да постигнат изключително високи нива на вакуум. Молекулярните помпи обаче не могат да работят при атмосферно налягане и трябва да се използват в комбинация с други необработени вакуумни помпи (маслени роторни помпи или турбо сухи помпи), които могат да работят при атмосферно налягане. Молекулярната помпа има сложна структура и висока цена и има вибрации по време на висока скорост на въртене.