Причината за неравномерност на магнетронното разпрашване

Без значение какъв вид машина за изчисляване на вакуум, еднородността на покритията ще бъде повлияна от определен фактор.

Работата на машината за вакуумно покритие с магнитрон се състои в това, че електроните да бомбардират аргоновите йони, образувани от аргоновия газ, и след това да бомбардират целта от ортогоналното магнитно поле под вакуумното състояние и целевите йони да се отлагат върху повърхността на обработвания детайл за образуване на покритие. Така че можем да приемем, че вакуумното състояние, магнитното поле и аргонът са три аспекта, свързани с еднородността на дебелината на филма.

Вакуумното състояние се контролира от системата за изпомпване на въздух. Всеки помпеният порт трябва да бъде задействан едновременно с постоянна якост, така че да може да се осигури еднаквост на изпомпването. Ако изпомпването не е равномерно, налягането във вакуумната камера не може да бъде равномерно, тъй като налягането оказва известно влияние върху движението на йони. Освен това трябва да се контролира времето за изпомпване. Твърде краткото ще причини недостатъчен вакуум, но това ще бъде загуба на ресурси, ако е твърде дълго. Но съществуването на вакуумни датчици го прави необходимо.

Магнитното поле работи перпендикулярно, но е невъзможно да се направи интензитетът на магнитното поле 100% еднакъв. Най-общо, когато магнитното поле е силно, дебелината на филма ще бъде голяма и обратно, така че дебелината на филма ще бъде несъгласувана.

Уеднаквяването на доставянето на аргонов газ влияе и върху еднородността на слоя от филма. Принципът е подобен на степента на вакуум. Благодарение на навлизането на аргонов газ, налягането във вакуумната камера ще се промени съответно. Еднородността на дебелината на филма може да се контролира чрез равномерно налягане.

Въпреки че винаги има няколко фактора, които причиняват неравности на филма, но процентът на пропускане на филма е много висок, ако се прави правилна работа на машината за вакуумно покритие.