Системата за задвижване и охлаждане на PVD покритие оборудване
Mar 31, 2018| Задвижваща система
Задвижващата система позволява на подложката да тече от поставянето на субстрат в устройството за отлагане на разпрашване, излизането от устройството след приключване на обработката. Задвижващата система се състои от задвижващ мотор, въртящо колело, честотен преобразувател и т.н. Причините за добавяне на задвижващата система са:
(1) Уверете се, че покритията с еднаква дебелина са широко разпространени.
(2) Лесна за реализиране автоматична трансмисия.
Охладителна система
Охлаждащата система се състои предимно от целевата молекулярна помпа, циркулиращата вода, камерата, помпата и циркулиращата вода за задвижване на двигателя. Основната му функция е да охлажда вакуумната камера, помпата, задвижването, захранването и т.н. Изискванията на охлаждащата вода са:
(1) Температура: 17-22 ° С;
(2) Налягане: 2 ~ 3e0.05Pa;
(3) Магнитните частици трябва да се отстранят от водата и водата да се омекоти, pH = 6 ~ 8.