Типичен тип вакуумна система
Jun 30, 2018| Системата, която отговаряше на определени изисквания на процеса, способна да получи и измерва специфичния необходим вакуум, се нарича вакуумна система. По-пълна вакуумна система се състои от вакуумна камера, необходима вакуумна помпа или вакуумно устройство, вакуумно измерващо устройство, свързващ тръбопровод, вакуумен клапан, уловител и други вакуумни компоненти и електрическа система за управление. Типичната вакуумна система е показана на фиг.1 и фиг.2.
1. Датчик за изсмукване на вакуумната камера 2. Изолационен вакуум манометър 3. Термодвойка вакуум манометър 4. Клапан за регулиране на дебита
5. Вентил за високо налягане 6. Дифузионна помпа 7. Резервоар за съхранение на газ
8. Термодвойка (измерва налягането на дифузионната помпа преди предварителното стъпало) 9. Възвратен клапан 10. Датчик за налягане
11. Вентил за предварително изпомпване 12. Въздушна вакуумна помпа 13. Вентил за оттичане 14. Електромагнитен изпускателен вентил
15. Механична вакуумна помпа
Фигура 1 Схема на типична вакуумна система
1. вакуумна камера 2. вакуумен датчик за йонизация 3. вакуумен манометър за термодвойка 4. дефлационен клапан
5. Вентил за високо вакуум 6. Студено капаче 7. Дифузионна помпа 8. Поддържащ вентил 9. Електромагнитен изпускателен вентил
10. Механична вакуумна помпа 11 Предварително изпомпващ вентил
Фигура 2 Схема на типичната вакуумна система