Кой PVD метод да се използва?

Най-разпространените типове физически vapor отлагания (PVD) са магнетронно разпрашване и изпаряване, което може да бъде или термични или електронен лъч (e-греда). Как да определите кога да използвате кой метод?

КАКВО Е МАГНЕТРОННО РАЗПРАШВАНЕ?

Задавям отлагането е отличен за материали с високи точки на топене, която не може да се изпари. Магнетронно разпрашване е универсален начин за създаване на много гъста филми с добро сцепление. Магнетронно разпрашване е плазма базирани покритие метод, който генерира магнитно ограничено плазма близо до повърхността на мишена. Тогава положително заредена енергични йони от плазма се сблъскват с отрицателно заредени целта материал и атоми от целта са изхвърлени или "заговори", което след това депозиране на субстрат или вафла.

ЗАЩО ДА ИЗПОЛЗВАТЕ МАГНЕТРОННО РАЗПРАШВАНЕ:

● Отлична точност на дебелината и плътността на филмови покрития – постигане на плътен покрития от изпаряване

● Идеален за метални или изолационни покрития със специфични оптични или електрически свойства

● може да се конфигурира с множествена Магнетронът източници

КАКВО Е РЕЗИСТИВЕН ТЕРМИЧНО ИЗПАРЕНИЕ?

Резистивни термично изпарение е може би най-простата форма на PVD. Нормално той използва резистивен топлинен източник да се изпари изходен материал в камера. Изпарява материал се издига в камерата чрез топлинна енергия, в крайна сметка покритие субстрат с тънък филм. Този процес може да се използва за метали или nonmetals и е добър избор за електрическите контакти.

ЗАЩО ДА ИЗПОЛЗВАТЕ РЕЗИСТИВЕН ТЕРМИЧНО ИЗПАРЕНИЕ:

● Разходно-ефективен начин да се създаде тънки филми на метали или nonmetals с по-ниски температури на топене

● може да се използва за Индий бум отлагане използвани в вафла свързване

● по-високи наслояване отколкото разпрашване

КАКВО Е E-ГРЕДА ИЗПАРЯВАНЕ?

E-греда изпаряване е процес на термично изпарение, който дава възможност за директен трансфер на по-голямо количество енергия в изходния материал, отколкото е възможно с термично изпарение. Това позволява отлагането на материали с високи температури на топене, като злато. При този метод изпаряване материал се поставя в тигел или водно охлаждане медни огнището, където след това се нагрява от електронен лъч. Топлината причинява изпаряване на изходния материал, която след това депозира върху субстрата.

ЗАЩО ДА ИЗПОЛЗВАТЕ E-ГРЕДА ИЗПАРЯВАНЕ:

Работи за голямо разнообразие от материали, включително и тези с по-високи точки на топене, които не могат да претърпяват термично изпарение

● Осигурява по-добра стъпка покритие от отлагането на нанасяне на покритие прахово или химически изпарения (ССЗ)

● Предлага висока ефективност в използването на материали и по-високи наслояване отколкото разпрашване

● Съвместими с втори Йон подпомагат източник, който позволява за предварително почистване или йонен подпомага отлагането (IAD)

Няма нито един метод, който е правилният избор за всяко заявление. Всичките три типа PVD предлагат свои собствени ползи и трябва да бъдат избрани въз основа на вашите изисквания.