Контролер за масов поток за общо предназначение - MKS 1179C
1179C е контролер за масов поток с общо предназначение, предназначен да измерва и контролира потока от газове в най-различни приложения. Контролерите за масов поток 1179 се предлагат с пълна гама от 10 sccm до 20 slm, осигурявайки бърз, повторяем контрол на потока до толкова ниско ...
- представяне на продукта
ВЪВЕДЕНИЕ
1179C е контролер за масов поток с общо предназначение, предназначен да измерва и контролира потока от газове в най-различни приложения. Контролерите за масов поток 1179 се предлагат в диапазона от пълна скала от 10 sccm до 20 slm, осигурявайки бърз, повторяем контрол на потока до порядъка на 0,2 sccm. Той може да се използва и като регулатор на налягане, когато е свързан към подходящ датчик за налягане.
1179C е директна подмяна на формата с подходяща функция за най-разпространените MFC на пазара днес. Стандартният 3-инчов отпечатък позволява на 1179C да падне директно в едно и също пространство, без да променя съществуващите газопроводи. Електрическите съединители са същите съединители тип "D" със същите изводи, сигнали и функции, както техните индустриални колеги, така че не е необходимо преинсталиране на кабели или конектори. 1179C е съвместим с електрозахранването MFC и дисплейната електроника от MKS или други производители.
ХАРАКТЕРИСТИКИ И ПОЛЗИ
◆ Патентованият дизайн на 1 сензор осигурява изключителна стабилност на нулата
◆ Дебитът на пълния мащаб варира от 10 sccm до 20 slm за прецизно и повторяемо измерване и контрол на потока
◆ Процент на пълна скала за аналогови конфигурации
◆ Бързото време за загряване минимизира скъпите производствени престои
◆ Съвместим с по-ранни MKS MFC и модули за захранване / отчитане
◆ Строгото проектиране и тестване включва MTBF анализ и STRIFE тестване, за да се гарантира дългосрочно представяне
◆ Повърхностното покритие на овлажнените неръждаеми повърхности, обработката в чистата стая и минималното използване на еластомерните уплътнения позволяват използването им при изискани чисти процеси
◆ Двугодишната гаранция гарантира качеството и удовлетвореността на клиентите
СТРУКТУРА
Диаграма на напречно сечение на 1179C Mass-Flo контролер
Точност на потока и повторяемост
Горната графика показва типичната точност на потока и повторяемостта на аналоговите MFC в семейството 1179C. Измерванията се извършват с калибриращия стандарт на стандартния поток на Caliblow® за Caliblow® през 10-дневен период.
Нулева стабилност
Горната графика показва отличната стабилност на нулата и обхвата на сензора 1179С, използван в семейството 1179. Инструментите са задвижвани и тествани случайно за нулево и великолепно отклонение за период от 19 месеца.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
| Обхват на пълен мащаб (еквивалентен на N 2) | 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm | |
| Максимално входящо налягане | 150 psig | |
Нормално работно налягане диференциал (с атмосферни налягане в изхода MFC) | 10 до 5000 sccm | 10 до 40 psid |
| 10000 до 30000 sccm | 15 до 40 psid | |
| Контролен обхват | 2% до 100% FS | |
Точност (аналогов) (включително нелинейност, хистерезис и неповторимост отнасяща се до 760 mmHg и 0 ° С) | ± 1.0% FS | |
| Повторяемост | ± 0,2% FS | |
| Резолюция | 0,1% FS | |
| Температурни коефициенти | нула | <0.05% fs="" °=""> |
| педя | <0.08% от=""> | |
| Време за загряване (до 0.2% от ефективността на FS в равновесно състояние) | <2> | |
| Време за уреждане на контролера (съгласно насока S177) | <2> | |
| Коефициент на налягане | <0.02% от=""> | |
| Нормален обхват на работната температура | 0 ° С до 50 ° С | |
| Необходимо е входно напрежение | Макс. ток при стартиране (първите 2 секунди) | ± 15 VDC (± 5%) @ 200 mA |
| Типичен ток при стационарно състояние | ± 15 VDC (± 5%) при 100 mA | |
| Команда сигнал за задание | 0 до 5 VDC от <20k> | |
| Изходящ сигнал | 0 до 5 VDC в> 10K Ω | |
| Изходен импеданс | <1> | |
Видове съединители аналог | 9-пинов или 15-пинов тип "D" (15-изводен конектор тип "D" е по електронен път съвместим с други контролери на потока MKS . Консултирайте се с инженерните приложения за подробности.) | |
| Мокри Материали | стандарт | 316L SS, Viton®, никел |
| Допълнително (уплътнения и седалка на клапана) | Buna-N, Neoprene®, Kalrez® | |
| Изтичане на неприкосновеност | Външен (scc / sec He) | <1 х=""> |
| Чрез затворен клапан | <1.0% от="" fs="" при="" входящо="" налягане="" от="" 40="" psig="" до=""> (За да не се осигури преминаване, се препоръчва отделен положителен спирателен вентил.) | |
| Фитинги (съвместими с) | Swagelok® 4 VCR®, Swagelok® 4 VCO®, ¼ "Swagelok | |
| съгласие | CE | |
РАЗМЕРНО РИСУВАНЕ
Забележка: Освен ако не е посочено друго, размерите са номинални стойности в инчове (в mm).
Популярни тагове: контролер за масов поток за общо предназначение - mks 1179c, Китай, производители, доставчици, купуват, персонализирани, направени в Китай
Може да харесаш също
