Високовакуумна помпена група

Високовакуумна помпена група
Помпената група с висок вакуум работи в състояние на молекулярен поток и в сравнение с модула с нисък вакуум се характеризира с ниско работно налягане (10-2 ~ 10-6Pa), малък изпускателен обем и голяма скорост на изпомпване . Основната помпа на модула обикновено е дифузионна помпа, дифузионна бустер помпа, молекулярна помпа, титанова сублимационна помпа, нискотемпературна кондензационна помпа и т.н. Тези помпи не могат да работят директно в атмосферата, така че е необходимо да се конфигурират помпи за предварително изпомпване и предстепенни помпи, а някои дифузионни помпи също са оборудвани с предстъпални помпи за поддръжка или резервоари за газ, за ​​да предотвратят колебанията на налягането в системата и да подобрят помпената производителност на модула.

IKS PVD компания, машина за декоративно покритие, машина за покритие на инструменти, DLC машина за покритие, машина за оптично покритие, PVD линия за вакуумно покритие, проектът до ключ е наличен. Свържете се с нас сега, имейл: iks.pvd@foxmail.com