Задържаща помпа

Задържаща помпа
Поради дългото време за стартиране на дифузионната помпа и маслената бустер помпа, във вакуумното оборудване с периодична работа, когато вакуумната камера се зарежда и разтоварва, главната помпа често не се спира, за да се съкрати работният цикъл, а високовакуумният клапан и предният тръбопроводен клапан са затворени, така че главната помпа все още е в работно състояние. Тъй като клапаните и т.н. винаги имат много малко количество изтичане на въздух и повърхността на вентила и вентилационния отвор на помпата, след определено време налягането в камерата на помпата на главната помпа се повишава, надвишавайки максимално допустимото налягане на работната течност на помпата и окисляване на маслените пари на помпата. За да разрешите този проблем, един от начините е да използвате предната помпа, за да продължите да извличате газа в главната помпа, но в този момент количеството газ, изпуснато в главната помпа, е много малко, а предната помпа е голямо конска каруца, загуба на енергия. За тази цел може да се използва друг метод за спиране на работата на предната помпа, затваряне на клапана на предния тръбопровод и настройка на помпа за поддръжка или резервоар за съхранение на газ на изхода на главната помпа, така че да се гарантира, че газът в главната помпа може да бъде разредена и консумацията на енергия може да бъде спестена. Резервоарът за съхранение на газ не може да бъде направен много голям, той може да се използва само в малка вакуумна единица с дифузионна помпа като основна помпа. Помпите за поддръжка могат да се използват във вакуумни агрегати, оборудвани с големи главни помпи.

IKS PVD компания, машина за декоративно покритие, машина за покритие на инструменти, DLC машина за покритие, машина за оптично покритие, PVD линия за вакуумно покритие, проектът до ключ е наличен. Свържете се с нас сега, имейл: iks.pvd@foxmail.com