Вътрешно напрежение и измерване на вакуум покритие PVD

1. стрес Въведение

Когато обектът се деформира поради външни причини (стрес, влажност и др.), вътрешни сили на взаимодействие между части на обекта, за да издържат на действието на този външен фактор, както и възстановяване на обекта от позиция след деформация на позицията преди деформация. Вътрешната сила на областта в един момент в напречното сечение, се нарича стрес. Нормални напрежения е перпендикулярна на напречното сечение, и на срязване е допирателна към напречното сечение. Стрес ще се увеличи, като увеличаване на външни сили. Има ограничение на растежа на стрес за конкретен материал, и над тази граница, материалите ще бъдат унищожени.

За някои материали, стрес може да достигне тази граница се нарича крайната стреса на материали. Крайната стрес стойност се определя чрез механично изпитване на материала. Измерваната сила трябва да бъде подходящо да се намали границата, максимално стрес материал, който е способен на предварително определен безопасност, който е допустим стрес. Ако материалът е да се използват безопасно, стреса в нея употреба трябва да бъде по-ниска от нейната граница стрес, в противен случай материалът ще бъдат повредени, когато се използва.

Има един вид стрес, наречен вътрешно напрежение, тоест, когато няма никакъв външен сила, вътрешно напрежение в обекта е вътрешно напрежение. И има вътрешно напрежение в PVD покритие. Увреждане на вътрешно напрежение е много голям, така че размера и степента на вътрешно напрежение трябва да бъдат добре усвоени в производството. Основната употреба на PVD покритие е като износоустойчив защитно покритие, което изисква определена дебелина и експлоатация, но вътрешно напрежение в покритието ограничава дебелината на покритието.  Ако на еластична енергия на единица обем, произведени от вътрешно напрежение надвишава фрактура енергия на единица площ, покритието ще падне, така че дебелината на депозираните покритие е ограничен. Като цяло вътрешно напрежение, модул на еластичност и твърдост на покритието са пропорционални на всеки друг. Следователно по време на производствения процес, напрежението на покритието, особено вътрешно напрежение, трябва да се контролира чрез физически vapor отлагане на процеса. След покритие, вътрешно напрежение на покритието трябва да бъдат открити, така че тя може да бъде приета в рамките на приемлив диапазон.

2. Методът за стрес тест

(1) рентгеново и електрон дифракция

Когато покритието е в стресово състояние, решетката ще наруши и константата на решетката ще бъде променен. Следователно промяната на ширината на дифракция линията на константата на решетката може да се измери чрез рентгеново и електрон дифракция. Стресът на покритието може да се изчислява по определена формула.

(2 образецът деформации анализ

Единия край на много тънки правоъгълни стъкла парче е определен във вакуумна камера на покритие апарат и след това покрити върху едната повърхност на листа. Покритие стреса причинява деформация на свободния край на листа, и листът се измерва с теле измерване микроскоп. Размерът на изместване в свободния край след това се изчислява въз основа на механични формула на материала.

(3 оптични интерферометрията

Използване на оптични интерферометрията за измерване покритие стрес намесата ресни формира между стандартните табела и без покритие субстрат в интерферометър и след това покрити върху субстрата поради покритие стрес ефект, субстрат повърхността деформация, След измерването на намесата ресни формира между стандартна плоча и покритие субстрат в интерферометър въз основа на намесата ресни промени, изчисляване на покритието стрес с помощта на формули на материалните механика.

За повече от десетилетие,IKSспециализирана във всички видове на вакуум покритие използваното оборудване производство, посветен на изследвания и развитие и производство на машина за вакуум покритие, с най-новите технологии постоянно продукция отговарят на нуждите на пазара на вакуумни Агрегати шпакловъчни , предоставяне на клиенти с персонализирани технологични решения и оборудване