Въвеждането на метода на операцията на машина за вакуум покритие

Вакуум покритие машината е инструмент на покритие, който трябва да работи на по-висок вакуум. Той е разделен на два вида изпаряване и разпрашване.

Процеса на изпаряване покритие е обикновено отоплението целеви материал, което причинява на повърхността компоненти на целта материал да се изпарили от атомна или йонна форма и се отлагат върху повърхността на субстрата, образува тънък филм през процеса на филм формиране.

Нанасяне на покритие прахово покритие може да бъде просто разбира като използването на електрони или високоенергийни лазерни да бомбардировки целта и направи повърхността компоненти на target се разпрашване под формата на атоми или йони и в крайна сметка депозирани по повърхността на субстрата, образува тънък филм през процеса на образуване на филм.

Използвайте стъпки:

1. операция метод на контрол на електромеханични кабинет за вакуум покритие

(1) Отвори източника на водна помпа и въздух.

(2) включване на захранване.

(3) отворите електрозахранването на стопанството помпата и вакуум метър, вакуумметър позиция V1 позиция, изчакайте за неговата стойност по-малко от 10 и след това въведете следващата операция. Вероятно се нуждае от пет минути.

(4) включване на механична помпа, изпълнява предварително изпомпване, отворете захранването турбо молекулярна помпа и започнете молекулярна помпа. Вакуумметър превключвател се променя позицията на V2. След вакуумната степен е помпено до по-малко от 2, спира изпомпване, и това ще отнеме 20 минути.

(5) когато показанията на турбината молекулярна помпа се наблюдават да достигне 250, предварително изпомпване е затворен, отворете на бек помпа и висок вакуум клапани продължават да се евакуират. Само след вакуум достигне 2 × 10-3, електрозахранването на електронен пистолет може да бъде включен.

2. експлоатацията на вакуум покритие machine

(1) включване на захранване.

(2) в същото време отворен електронен пистолет контрол, I и II захранване: според електронен пистолет контрол, мощност, ключа забавяне а след това със забавянето светлина, сила лампа и защита светлина, светлина горе. След три минути закъснение светлина и защита на лампата да изключите. Ако задната врата не е затворен или потока реле е повреден, защита на светлината винаги ще бъде на.

(3) отворите високо налягане, високо налягане ще достигне повече от 10KV, регулиране на лъч да за 200mA, мрежа щит е 20V / 100mA спиралата текущата 1.2a, деформацията текущата swing 1 ~ 1.7.

3. изключване последователност от вакуум покритие machine

(1) изключете поделение габарит и молекулярна помпа.

(2) Когато молекулярната помпата показва до 50, висок вакуум клапан, бек помпа и механична помпа са затворени в последователност. Вероятно се нуждае от 40 минути.

(3) Когато молекулярната помпата показва по-малко от 50, затворете помпата на стопанството.