Свръхвисок вакуумна помпа

Свръхвисок вакуумна помпа
Устройството за ултрависок вакуум работи в диапазона на свръхвисоко вакуумно налягане от 10-6 ~ 10-10Pa, в допълнение към изискването материалът на вакуумната камера да има много ниска скорост на изход на газ, a много малък процент на изтичане на газ и може да издържи 200 ~ 450 градуса висока температура на печене, изискванията за уреда също включват:
(1) крайната степен на вакуум на главната помпа трябва да бъде висока, поне 10-7 ~ 10-8Pa по-горе;
(2) Основната помпа има определена скорост на изпомпване в диапазона на работното налягане на свръхвисокия вакуум;
(3) Главната помпа на модула или частта над входа за въздух на главната помпа може да издържи на висока температура на печене от 200 ~ 450 градуса;
(4) Парциалното налягане на обратния газ (включително парата на работната течност и отделения газ) към автономната помпа трябва да бъде достатъчно ниско;
(5) Основната помпа със силна селективност на изпомпвания газ трябва да бъде оборудвана с достатъчно голяма спомагателна помпа;
(6) Тръбопроводи, клапани и други компоненти над всмукателния отвор на главната помпа на модула, изборът и уплътняването на материали трябва да бъдат особено внимателни. Обикновено се използва неръждаема стомана с ниска скорост на изход на газ и метална уплътнителна структура и уплътнителни материали.

IKS PVD компания, машина за декоративно покритие, машина за покритие на инструменти, DLC машина за покритие, машина за оптично покритие, PVD линия за вакуумно покритие, проектът до ключ е наличен. Свържете се с нас сега, имейл: iks.pvd@foxmail.com