Вакуумна система на турбо-молекулярна помпа в серия от механични помпи
Oct 27, 2023| Вакуумна система на турбо-молекулярна помпа в серия от механични помпи
Фигура 5-14 показва системата. Тази система може да получи 10-6Pa вакуум без печене, а степента на вакуум след печене може да достигне 10-8Pa. Характеристиките на системата са сравнително чисти и могат да образуват система с ултрависок вакуум без масло.
Фигура 5-14 Турбомолекулярна помпа система за свръхвисок вакуум: 1- вакуумна камера 2- термодвойка вакуумен манометър 3-BA вакуумен манометър 4- ултрависок вакуумен клапан {{8 }} Турбомолекулярна помпа 6- предна помпа 7- Електромагнитен клапан 8- механична помпа
IKS PVD компания, машина за декоративно покритие, машина за покритие на инструменти, DLC машина за покритие, машина за оптично покритие, PVD линия за вакуумно покритие, проектът до ключ е наличен. Свържете се с нас сега, имейл: iks.pvd@foxmail.com