Модел и размер на често използван CF фланец

Има изпъкнал остър ръб във вътрешността на фланеца за CF, който се запечатва чрез изстискване на медно уплътнение (или друг мек метал) без кислород, за да се осигури вакуумно запечатване. Това е изцяло метален метод за запечатване, който се използва широко в свръхвисока вакуумна система. CF фланците също често се наричат фланци ICF. Броят зад CF е стандартният вътрешен диаметър на катетъра, а числото зад ICF е външният диаметър на фланеца. Таблица 1 е типовете и размерите на често използваните CF фланци.

CF фланецът е разделен на фиксиран тип и свободен тип. Фиксираният фланец има вградена структура. Свободният фланец се състои от ножната страна на екструдираната медна шайба и фиксираната част, която е през болта. Проходен отвор или отвор с резба може да се потупа във фланеца. Фланецът с проходен отвор трябва да бъде фиксиран от болта и гайката, а фланецът с резбования отвор трябва да бъде фиксиран директно със болта. Материалът на фланеца е главно SUS304 (или SUS304L), защото SUS304 отделя по-малко газ и е лесен за обработка и заваряване.

Таблица 1 Модели и размери на често използван CF фланец

Забележка: За n × d, n се отнася до броя на дупките и d означава отвора (mm).

CF фланците се характеризират с това, че са едновременно мъжки и женски, а всички части включват медни уплътнения без кислород, направени от метал, така че да издържат на високи температури (над 250 ° C). Недостатъкът е, че цената е висока и медното уплътнение без кислород не може да се използва многократно.

Монтиране на CF фланец

Изискванията за монтаж на фланцовия фланец са доста високи. Тъй като медното уплътнение без кислород се деформира след изстискване, е много важно да се затегне болта с еднаква сила. Ако болтовете не са равномерно натиснати, фланците в противоположните ъгли ще бъдат наклонени, така че системата да изтече. Въртящият момент на затягането на болта е приблизително както следва: M4 болт 20kgf · cm, M6 болт 70kgf · cm, M8 болт 100kgf · cm.

Внимание на CF фланеца

Когато използвате фланеца за CF, има няколко точки, които трябва да се обърнат внимание: Болтът трябва да бъде покрит с MoS2, за да се предотврати счупването на болта и гайката. Фланецът трябва да е подравнен на външната обиколка. Повърхността на фланеца трябва да се държи на разстояние, за да се даде възможност за по-нататъшно затягане на болта след печене.

За фланец CF, ножът трябва да се нарязва на металното уплътнение, за да се осигури вакуумно запечатване. За дългосрочна употреба, ножът постепенно ще стане тъп. В допълнение, ножът е податлив на нараняване, след като е ударен от втвърдител. Едно от средствата за защита е използването на IPD метално уплътнение. IPD металните уплътнения не разчитат на ръба на фланеца, но разчитат на наклона на ръба на ножа, за да се запечатат.