Автоматична система за вакуумно отлагане PECVD

Системата за отлагане се състои от радиочестотно захранване, система за водно охлаждане и устройство за нагряване на субстрата. Това е основна част от PECVD. Функцията на радиочестотното захранване е да йонизира реакционния газ. Системата за водно охлаждане основно осигурява охлаждане за механичната помпа, помпата на Roots, сухата помпа, молекулярната помпа и т.н. на системата PECVD. Когато температурата на водата надвиши необходимата температура на тялото на помпата, тя ще изпрати алармен сигнал. Изолационни материали като пластмасови тръби трябва да се използват за охлаждащи водопроводни тръби, а метални тръби не трябва да се използват. Функцията на устройството за нагряване на субстрата е да загрее пробата до необходимата температура на процеса, да отстрани примеси като водна пара върху пробата и да подобри адхезията между филма и пробата.

IKS PVD компания, машина за декоративно покритие, машина за покритие на инструменти, DLC машина за покритие, машина за оптично покритие, PVD линия за вакуумно покритие, проектът до ключ е наличен. Свържете се с нас сега, имейл: iks.pvd@foxmail.com