PECVD системи за контрол на газ и поток

Захранването с газ на системата PECVD почти винаги се доставя от газови бутилки, които се поставят в газов шкаф с много предпазни устройства и се доставят до процесната камера на PECVD през контролния панел на газовия шкаф и тръбите.

При отлагането количеството на реакционния газ ще повлияе на скоростта на отлагане и неговата равномерност, така че е необходимо да се контролира стриктно газовия поток и масовият разходомер обикновено се използва за постигане на точен контрол.

IKS PVD компания, машина за декоративно покритие, машина за покритие на инструменти, DLC машина за покритие, машина за оптично покритие, PVD линия за вакуумно покритие, проектът до ключ е наличен. Свържете се с нас сега, имейл: iks.pvd@foxmail.com