Принцип и приложение на Holl Ion Source

Принцип и приложение на източника на йонен холн

Принцип на работа на йонния източник

Тип източник на йони

Според йонната енергия се разделя на:

Висока енергия 200ev или по-висока, като APS, RF, Kaufman йонен източник;

Източник на йони под хол под ниска енергия 200ev

Разделен по тип:

Тип Кауфман и Хол тип

Как работят йонните източници

В реална плътна среда, газът, който се пълни във вакуумната камера, се премахва чрез използване на излъчените електрони при взаимодействието на електрическите и магнитните полета и йони се излъчват под действието на електрическите и магнитните полета.

Структурният принцип на източник на йонна зала
Компоненти:
Катодът - излъчва електрони
Анодът - произвежда йони
Газов път - осигурява йонизиран газ
Захранването

Структурата на източника на йон на Хол

Структурата на йонния източник на Кауфман

Йонна енергия на източника на йони:

Разделен източник на йони на кауфман: е напрежението между анода и мрежата
Източник на йонна зала: 65-70% от анодното напрежение

IKS PVD, IET оборудване за покритие, свържете се с: iks.pvd@foxmail.com