Ultra-висок вакуум единица характер и класифицира

Ultra-висок вакуум единиците, работещи над 10-5pa включват дифузия помпа, молекулярна ultra-висок вакуум помпата и масло свободен ултра-висока вакуумна единица. Единица има следните характеристики:

Максимален вакуум степента на главната помпа е по-висока от 10-7 ~ 10-8pa.

(2) могат да издържат на висока температура на 200 ~ 450 ℃ печене;

Парциалното налягане на рекламация газ на главната помпа е ниска.

За главната помпа с висока селективност трябва да бъдат оборудвани с достатъчно големи спомагателни помпа.

(1) ултра-висока вакуумна единица на дифузия помпа

Крайната вакуум на ултра-високо вакуумно единици с дифузионни помпи като основна помпи е 10-7 ~ 10-8pa.

С цел намаляване влиянието на обратната Дифузията на газ от предния етап на помпата на дифузия и обратната разпространението на механична помпа масло върху крайната вакуум степен, дифузия помпа с по-ниска скорост на изпомпване могат да се използват в предния етап на diffu Сион помпа за намаляване на компресия и Обратните дифузия. Ако титанов сублимация капан се добавя към входа на помпата на дифузия, азот парциалното налягане от помпата на дифузия може да бъде допълнително намален, и супер висок вакуум на 10-11pa може да се получи.

(2) ултра-висока вакуумна единица на молекулярна помпа

Максимален вакуум на ултра-високо вакуумно единици, които предимно използват молекулярни помпи, е 10-8pa, която се характеризира с бърз старт и ниско замърсяване.

Помпената скоростта може да бъде увеличена чрез добавяне на течен азот студен уловител в единица. На изхода на механична помпа е снабден с вода студен уловител за предотвратяване на петролни изпарения да влизат в системата.

(3) масло безплатен ultra-висок вакуум единица

Вакуумна единица, която не използва масло да се направи работна течност и не запушва с органичен материал се нарича свръхвисок вакуумна единица без масло. Най-често използваните основни помпи включват криогенни помпа, помпа за Титан, нанасяне на покритие прахово Йон помпа и др. В сравнение с вакуумна единица масло, тя има следните предимства:

Може да се получи чиста вакуум и не е източник на замърсяване.

Когато маслото безплатно помпа вакуум се стартира, преди помпата могат да бъдат изолирани.

Ако вентилацията спре внезапно, системата не ще бъдат замърсени;

Тя е без масло, без шум и не вибрации, което подобрява на работната среда.

Терминал вакуум степен е висока, скорост на изпомпване е висока и изпомпване времето е кратко.